該晶圓倒片機(jī)為臥式退火設(shè)備配套使用，實(shí)現(xiàn)規(guī)?；a(chǎn)的自動(dòng)化要求，旨在實(shí)現(xiàn)8寸晶圓（包括Taiko晶圓）在晶圓舟和Cassette之間的搬運(yùn)的過(guò)程。作為退火爐配套使用設(shè)備，乙方需提供滿(mǎn)足甲方退火爐要求的晶圓舟三維模型、圖紙及加工要求，并能根據(jù)甲方提供的Cassette型號(hào)進(jìn)行作業(yè)。
晶圓傳輸：實(shí)現(xiàn)晶圓舟和Cassette之間的8寸晶圓批量化傳輸，一次取放25片晶圓。

系統(tǒng)配置及要求：

（1） 根據(jù)自動(dòng)化要求和設(shè)備的工藝要求，該系統(tǒng)應(yīng)具備以下詳細(xì)配置功能：

（2） 晶圓規(guī)格：standard及taiko晶圓；

（3） 標(biāo)準(zhǔn)晶圓厚度200 μm至800 μm（極端情況至1000 μm），taiko晶圓中心減薄至50 μm；

（4） 傳片效率：裝滿(mǎn)晶圓舟所有槽位（不含cassette上料）耗時(shí)<3 分鐘（不包括人為操作時(shí)間）

（5） 可通過(guò)便捷操作切換傳輸方向，實(shí)現(xiàn)晶圓舟和Cassette之間互相搬運(yùn)。

（6） 平均故障間隔時(shí)間：≥2,000小時(shí)；

（7） 平均故障修復(fù)時(shí)間<2 小時(shí)；

傳輸流程：

1) Cassette被上料到Cassette定位模塊；

2) 利用托舉裝置，取出Cassette中的晶圓；

3) 抓取模塊取出托舉裝置的晶圓，并移動(dòng)至晶圓舟上方；

4) 晶圓舟下方的托舉裝置啟動(dòng)，從抓取模塊中取下晶圓舟；

5) 晶圓舟下方的托舉裝置下降，將晶圓放置于晶圓舟內(nèi)。

（8） 晶圓倒片機(jī)傳輸破片率<1/10,000