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岱美儀器技術(shù)服務(wù)(上海)有限公司

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EVG納米壓印機(jī)
膜厚儀
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晶圓厚度測量
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岱美中國拿到膜厚測量儀FR-ES訂單(2023,07)

時(shí)間:2023-09-01
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客戶業(yè)務(wù)包括集成電路設(shè)計(jì)、掩模制造、晶圓制造、封裝測試及分立器件,目前擁有6-8英寸晶圓生產(chǎn)線4條、封裝生產(chǎn)線2條、掩模生產(chǎn)線1條、設(shè)計(jì)公司4家,系國內(nèi)惟一擁有半導(dǎo)體完整產(chǎn)業(yè)鏈的企業(yè)。
FR-ES膜厚測量儀采用的是波長范圍在370-1020nm的可見光干涉測量,能夠測量12nm-100um范圍的膜層厚度,準(zhǔn)確度高達(dá)0.1%或1nm,精度為0.05nm,是一款性價(jià)比很高的膜厚測量設(shè)備。


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