目錄:孚光精儀（中國）有限公司>>半導(dǎo)體微電子設(shè)備>>勻膠儀>> FPSPS-spin4000a全自動勻膠機(jī),旋涂機(jī),勻膠儀
這款全自動勻膠機(jī)是進(jìn)口自動勻膠儀器,采用功能強(qiáng)大的旋涂機(jī)系統(tǒng)專為所有應(yīng)用的研究和可變工藝而設(shè)計(jì)。其特點(diǎn)是能夠全自動旋涂操作。
全自動勻膠機(jī)POLOS SPIN4000A是一款獨(dú)立的全自動旋涂機(jī)系統(tǒng)。鋼制外殼保證了無污染的工作區(qū)，其組件確保了300x300mm基板的可重復(fù)、可編程旋轉(zhuǎn)過程。
全自動勻膠機(jī)特征
自動光刻膠分配，最多3個(gè)噴嘴（可選）
8.5英寸觸摸屏
真空泵
上蓋（可選）
全自動勻膠機(jī)規(guī)格參數(shù)
旋涂轉(zhuǎn)速：6000rpm
轉(zhuǎn)速精度：0.1%
旋涂旋轉(zhuǎn)方向：順時(shí)針，逆時(shí)針
最大加速度：<=3000rpm/s
最大襯底直徑：300mm(圓形）或8'' x 8''(方形）
尺寸：650 (w) x 1200 (h) x 945 (d) mm
重量:350kg
功耗：1KW
真空：-600 mm Hg
(空格分隔,最多3個(gè),單個(gè)標(biāo)簽最多10個(gè)字符)
9
化工儀器網(wǎng)