目錄:孚光精儀（中國(guó)）有限公司>>半導(dǎo)體微電子設(shè)備>>等離子體處理>> FPTOR-IBD離子束沉積系統(tǒng),離子shu沉積濺射鍍膜
| 參考價(jià) | 面議 |
| 參考價(jià) | 面議 |
更新時(shí)間：2024-12-16 10:50:22瀏覽次數(shù)：755評(píng)價(jià)
聯(lián)系我們時(shí)請(qǐng)說(shuō)明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息，謝謝!
離子束沉積系統(tǒng)IBD采用真空沉積工藝，使用直接聚焦在濺射靶上的寬束離子源實(shí)現(xiàn)離子束沉積濺射鍍膜。然后，來(lái)自靶材的濺射材料沉積在附近的襯底上形成薄膜。
一些應(yīng)用將使用濺射靶材的組件，該組件可被索引以創(chuàng)建多層薄膜。大多數(shù)IBD應(yīng)用將使用第二個(gè)離子源IBAD來(lái)控制和增強(qiáng)濺射膜的性能。
離子束沉積系統(tǒng)IBD特點(diǎn)
電拋光不銹鋼腔室（D形盒）
帶手動(dòng)快門的前門上的4“直徑觀察口
匹配雙級(jí)旋轉(zhuǎn)葉片泵的渦輪分子真空泵系統(tǒng)
帶會(huì)聚束離子源和電源的離子束沉積，易于安裝靶材
具有發(fā)散束離子源和電源的離子束輔助沉積
帶沉積控制器的石英晶體厚度傳感器
帶數(shù)字讀數(shù)的質(zhì)量流量控制器
帶數(shù)字顯示和讀數(shù)的全量程真空計(jì)
半自動(dòng)控制系統(tǒng)
(空格分隔,最多3個(gè),單個(gè)標(biāo)簽最多10個(gè)字符)
會(huì)員.png)
9
化工儀器網(wǎng)