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mask aligner-紫外曝光機,紫外掩模曝光機
  • mask aligner-紫外曝光機,紫外掩模曝光機

貨物所在地:上海上海市

地: 歐洲

更新時間:2024-08-22 11:10:22

瀏覽次數(shù):319

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這款紫外曝光機非常適合對紫外光敏感層曝光處理,是理想的紫外掩膜曝光機系統(tǒng)和掩膜對準機,mask aligner.紫外曝光機廣泛用于光學(xué),生物,微納科技,光刻等領(lǐng)域需要1-2掩膜的應(yīng)用。

這款紫外曝光機非常適合對紫外光敏感層曝光處理,是理想的紫外掩膜曝光機系統(tǒng)和掩膜對準機,mask aligner.紫外曝光機廣泛用于光學(xué),生物,微納科技,光刻等領(lǐng)域需要1-2掩膜的應(yīng)用。

紫外掩曝光機特點

1)*的單色曝光,曝光帶寬小于10nm;

2)冷紫外曝光,襯底環(huán)境溫度實時控制,從而實現(xiàn)均勻曝光,消除熱效應(yīng);

3)*的功率密度

4) 紫外LED壽命更長,高達10000小時;

5)方便用戶使用的觸摸屏配置;

6) 不需要預(yù)熱;

7)計算機控制紫外光源強度調(diào)節(jié);

8)自動晶圓裝載和卸載功能;

9)超低能耗;

紫外掩曝光機參數(shù)

分辨率:2微米

發(fā)射光譜:365+/-5nm,  385+/-5nm
4英寸晶圓照明: 25mW/cm^2 +/-10%

暴曬時晶圓溫度加熱:<1攝氏度
暴曬循環(huán):1秒~18小時
記憶的曝光循環(huán)數(shù): 10個

功率:180W

重量:8.2kg

尺寸: 260x260x260mm^2
電源: 110V/230v50Hz



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