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微型激光直寫光刻機(jī)是的桌面型高分辨率激光光刻系統(tǒng)，它通過固定連續(xù)的375nm或405nm紫外光源在光刻膠或紫外敏感膠中直接刻劃獲得微納結(jié)構(gòu)，直寫面積高達(dá)4英寸，zui小特征尺寸（寬度）可達(dá)1微米。
微型激光直寫光刻機(jī)提供豎直和掃描直寫模式，確保直接軌跡偏離小于100nm。微型激光直寫光刻機(jī)具有電動(dòng)光學(xué)聚焦系統(tǒng)，提供快速精準(zhǔn)的聚焦功能，從而適合各種厚度襯底的要求，并具有晶圓裝載和卸載系統(tǒng)裝備到襯底室供客戶選配，增強(qiáng)清潔程度，提高工作量和用戶安全程度。
微型激光直寫光刻機(jī)兼容大多數(shù)商用光刻膠，比如SU8，shipley, AZ等，我們還對(duì)K-CL膠特別優(yōu)化，用于微結(jié)構(gòu)應(yīng)用。

微型激光直寫光刻機(jī)特色
非常緊湊的桌面型設(shè)計(jì)
掩膜制作和激光直寫
激光光源375nm 或405nm 任選
兼容所有商用光刻膠
對(duì)比度高達(dá)1x20
自動(dòng)聚焦
豎直直寫或掃描直寫模式

微型激光直寫光刻機(jī)參數(shù)
直線直寫速度：>100mm/s
位移臺(tái)分辨率：100nm
重復(fù)精度：100nm
晶圓直寫面積：1-4英寸
襯底厚度：150um-5mm
激光光斑大小：1um-50um
標(biāo)準(zhǔn)準(zhǔn)直精度：1um
form factor: 10