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薄膜厚度繪圖儀SRM是采用光譜反射儀技術(shù)的薄膜厚度分布測(cè)試儀器,可對(duì)樣品面積上的薄膜厚度繪圖獲得整面的薄膜厚度分布和薄膜厚度均勻性參數(shù)。
這款薄膜厚度繪圖儀具有較長(zhǎng)工作距離，工作距離可調(diào)，超大樣品臺(tái)，可選光源等特點(diǎn)。

薄膜厚度繪圖儀特點(diǎn)
使用基于Windows的軟件易于設(shè)置和操作
直徑達(dá)300mm的各種幾何形狀襯底
各種類(lèi)型的映射模式，如線性、極坐標(biāo)、方形或任意坐標(biāo)
**的光學(xué)和堅(jiān)固的設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)***佳的系統(tǒng)性能
基于陣列的探測(cè)器系統(tǒng)，確?？焖贉y(cè)量
地圖膠片厚度和折射率高達(dá)5層
系統(tǒng)配有全面的光學(xué)常數(shù)數(shù)據(jù)庫(kù)和庫(kù)
包括常用食譜
**的TFProbe軟件允許用戶為每張膠片使用NK表、色散或有效介質(zhì)近似（EMA）。
可升級(jí)到具有模式識(shí)別的MSP（顯微分光光度計(jì)）標(biāo)測(cè)系統(tǒng)，或用于在圖案化或特征結(jié)構(gòu)上進(jìn)行標(biāo)測(cè)的大光斑
適用于多種不同厚度的基材
2D和3D輸出圖形和用戶友*的數(shù)據(jù)管理界面，帶有統(tǒng)計(jì)結(jié)果
以csv文件格式輸出映射結(jié)果
系統(tǒng)附帶長(zhǎng)壽命燈具
所有USB通信和PC控制
薄膜厚度繪圖儀應(yīng)用
半導(dǎo)體制造
液晶顯示屏測(cè)量
刑偵
生物膜測(cè)量
礦石地質(zhì)分析
制藥醫(yī)學(xué)分析
光學(xué)鍍膜測(cè)量
功能薄膜MEMS測(cè)量
太陽(yáng)能電池薄膜測(cè)量

薄膜厚度繪圖儀軟件操作界面

薄膜厚度繪圖儀軟件結(jié)果

薄膜厚度繪圖儀軟件三維展示