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這款晶圓自動(dòng)四探針電阻率計(jì)是四點(diǎn)探針型的半導(dǎo)體晶圓和電阻薄膜的電阻率特性測(cè)量儀器，它采用微處理器電路直接計(jì)算出V/I數(shù)值，表面電阻率,薄片電阻率,晶片電阻率,金屬化厚度,PN結(jié)類型測(cè)試。
晶圓自動(dòng)四探針電阻率計(jì)采用緊湊型設(shè)計(jì)，把電子電路和探針機(jī)械集成在較小外部結(jié)構(gòu)中，采用堅(jiān)固的鑄鋁外殼確保探針的安全性。
自動(dòng)四探針電阻率計(jì)的探針頭固定在堅(jiān)固外殼中，與諸多四探針和探針臺(tái)把探針頭進(jìn)入晶圓測(cè)量，我們的產(chǎn)品是把晶圓移動(dòng)到探針頭測(cè)量，這樣就確保了恒定連續(xù)的探針力不受操作人員和經(jīng)驗(yàn)厚度的影響而改變。

自動(dòng)四探針電阻率計(jì)能夠?qū)μ结樦貜?fù)定位，探針頭采用可更換設(shè)計(jì)，電磁特性對(duì)電阻材料的干涉影響降低到zui低水平。
全自動(dòng)電阻率計(jì)采用微處理器電路，直接計(jì)算戶V/I 值，薄片電阻率或晶片電阻率，金屬化厚度和P-N結(jié)類型等指標(biāo)。
電路和探針采用集成設(shè)計(jì)，并采用高級(jí)鋁作為外主材，堅(jiān)固耐用。

全自動(dòng)電阻率計(jì)采用恒力探針頭堅(jiān)固地固定在外殼上，而探針頭可以自由取下測(cè)量，這就確保了恒力操作，不受操作員的每次測(cè)量用力不同的問題和晶圓厚度不等的問題引入的誤差。

全自動(dòng)電阻率計(jì)配比了晶圓定位架，用于探針重復(fù)定位。

全自動(dòng)電阻率計(jì)特點(diǎn)
操作方便簡易
自動(dòng)校準(zhǔn)計(jì)算顯示薄片電阻率或鏡片電阻率， V/I值，金屬化厚度和PN結(jié)類型
非常適合外延,擴(kuò)散，離子注入和金屬化層測(cè)量
內(nèi)置每次測(cè)量自校準(zhǔn)功能，儀器測(cè)量精度為0.5%
可編程控制

測(cè)量功能和范圍

數(shù)字計(jì)算*直接顯示薄片電阻率，從1.1毫歐盟/平方 到 450千歐姆/平方
鏡片電阻：4.9x10^-2毫歐姆到17.1千歐姆-cm
V/I 值從0.25毫歐姆到99千歐姆
金屬化層厚度從20A  到243KA

微處理器電路
自動(dòng)測(cè)量
4選擇顯示
自動(dòng)測(cè)量