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這款非接觸式探針臺是為高頻電子設備、IC和材料測試/表征設計的非接觸式探針測試分析系統(tǒng)。實現(xiàn)了整個毫米波和太赫茲波段電子設備和IC的自動S參數(shù)表征。測量范圍為55GHz-1.1THz
非接觸式探針臺還是全自動的探測試驗臺,能夠對晶圓上的每個芯片進行無人值守的檢查,并具有如下功能：
毫米波和太赫茲波段的片上S參數(shù)測量
無磨損，消除了接觸式微探針的主要缺點
亞微米對準重復精度，實現(xiàn)可靠和可重復的測量
通過精確的晶圓校準實現(xiàn)多端口器件和IC特性
適用于整個毫米波太赫茲波段的通用、經(jīng)濟高效的測試臺
非接觸式探針臺還可以做成材料表征系統(tǒng)使用高精度機械臂和新型校準，以1000分之一的精度精確測量材料面板和薄膜的介電常數(shù)和損耗角正切。
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