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更新時間：2024-08-29 14:37:24
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形貌輪廓激光顯微鏡是采用激光顯微鏡技術(shù)的表面輪廓形貌儀器,具有白光共聚焦,激光共聚焦,差分干涉對比,白光干涉,相移干涉法和光譜反射薄膜厚度測量6種表面形貌輪廓測試技術(shù)。
形貌輪廓激光顯微鏡特點
提供高達6種表面形貌輪廓測試技術(shù)功能
滿足工業(yè)應(yīng)用的規(guī)格和高精度
多種測量,分析功能
全自動操作
形貌輪廓激光顯微鏡具有共焦光學(xué)，差分干涉對比度，垂直掃描白光干涉測量，相移干涉測量和光譜反射膜厚度測量。它解決了通常需要使用多種工具的各種需求。
可作為白光共聚焦顯微鏡使用,提供高對比度,全彩色觀察和高精度3D輪廓形貌測量功能
可作為激光共聚焦顯微鏡使用,提供高解析度圖像
差分干涉對比技術(shù)結(jié)合共聚焦光學(xué)提供高對比度層析圖
垂直掃描白光干涉功能提供納米尺度測量，特別適合晶圓,薄膜測量
相位轉(zhuǎn)換干涉技術(shù)提供*高分辨率層析測量功能
光譜反射技術(shù)可以測量透明薄膜厚度
(空格分隔,最多3個,單個標(biāo)簽最多10個字符)
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