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三維表面形貌儀是進口多功能光學形貌儀，集成光學傳感器,實現(xiàn)無接觸地測量樣本。
這種三維表面形貌儀已應用于雕刻測量、紋理、拋光或微結構表面狀態(tài)，尤其是在制表行業(yè),和激光雕刻領域。
**技術
彩色共焦
可見光和紅外干涉測量
激光三角測量
所有表面均可測量（粗糙的,透明的，拋光的表面等）
三維表面形貌儀規(guī)格參數(shù)
XYZ行程范圍：100mm x 100mm x 100mm
***大速度：40mm/s
軸向平整度：<1u/100mm
軸向分辨率：0.062um
測量傳感器：非接觸式共聚焦傳感器
測量范圍：100um-25mm
Z軸分辨率：可達3nm
橫向分辨率：0.9um
臺階高度測量：0.005%
粗糙度測量Ra/Sa: 20nm/20nm
***小測量厚度：4um
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