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自動(dòng)橢圓偏振光譜儀M300是一種自動(dòng)變角光譜橢偏儀和深紫外光譜橢偏儀,具有250-1100nm的波長范圍，并具有自動(dòng)改變?nèi)肷浣堑墓δ?。自?dòng)spectroscopic ellipsometer從深紫外到可見光再到近紅外.深紫外波長橢偏儀非常適合測量超薄薄膜厚度，比如納米薄膜厚度，比如硅晶圓的薄膜厚度，典型值在2nm左右。對于測量許多材料的帶隙，深紫外光譜橢偏儀也非常重要。

橢圓偏振技術(shù)是通過研究光束在樣本表面反射后偏振態(tài)變化而獲得表面薄膜厚度等信息的薄膜測量技術(shù)。
與反射計(jì)或反射光譜技術(shù)不同的是，光譜橢偏儀參數(shù)Psi 和Del并非在常見入射角下獲得。通過改變?nèi)肷浣谴笮?，可獲得許多組數(shù)據(jù)，這樣就非常有助于*化橢偏儀測量薄膜或樣本表面的能力，因此變角橢偏儀功能遠(yuǎn)遠(yuǎn)大于固定角橢偏儀。
改變橢偏儀入射角的方法有兩種，一種是手動(dòng)調(diào)節(jié)，一種是自動(dòng)調(diào)節(jié)入射角，我們可提供兩種模式的橢偏儀。

橢圓偏振光譜儀M300特色
易于安裝，拆卸和維護(hù)
**的光學(xué)設(shè)計(jì)
自動(dòng)改變?nèi)肷浣牵肷浣欠直媛矢哌_(dá)0.01度
高功率250-1100nm光源適合多種應(yīng)用
采用陣列探測器確保高速測量
測量薄膜膜堆的薄膜厚度和折射率
可用于實(shí)或在線監(jiān)測薄膜厚度和折射率
具有齊全的光學(xué)常數(shù)數(shù)據(jù)庫
提供工程師模式，服務(wù)模式和用戶模式三種使用模式
靈活的工程師模式用于各種安裝設(shè)置和光學(xué)模型測量
一鍵快速測量
全自動(dòng)標(biāo)定和初始化
精密樣品準(zhǔn)直界面直接樣品準(zhǔn)直，不需要額外光學(xué)
精密高度和傾斜調(diào)整
適合不同材料和不同后的樣品襯底基片
2D和3D數(shù)據(jù)顯示輸出

橢圓偏振光譜儀M300參數(shù)
波長范圍：250-1100nm
波長分辨率：1nm
測量點(diǎn)大?。?-5mm可調(diào)
入射角：10-90度可調(diào)
入射角分辨率：0.01度
可測樣品大?。焊哌_(dá)300mm 直徑
可測樣品厚度：高達(dá)20mm
測量薄膜厚度：0nm ---30um
測量時(shí)間：~1s/點(diǎn)
精度：~0.25%
重復(fù)精度：<1A
橢圓偏振光譜儀可選配件
反射或透射光度測量配件
微點(diǎn)測量小面積
X-Y位移臺用于厚度繪圖
加熱臺/制冷臺用于薄膜動(dòng)力學(xué)研究
垂直樣品安裝測角計(jì)
波長拓寬到IR范圍
掃描單色儀配置