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手動變角光譜橢偏儀是高性價比手動橢偏儀,它采用手動改變測角計入射角技術,相比于自動改變入射角的自動光譜橢偏儀價格*低。
橢圓偏振技術是通過研究光束在樣本表面反射后偏振態(tài)變化而獲得表面薄膜厚度等信息的薄膜測量技術。
與反射計或反射光譜技術不同的是，光譜橢偏儀參數(shù)Psi 和Del并非在常見入射角下獲得。通過改變入射角大小，可獲得許多組數(shù)據(jù)，這樣就非常有助于*化橢偏儀測量薄膜或樣本表面的能力，因此變角橢偏儀功能遠遠大于固定角橢偏儀。
手動光譜橢偏儀特色
易于安裝，拆卸和維護
**的光學設計
自動改變入射角，入射角分辨率高達0.01度
高功率光源適合多種應用
采用陣列探測器確保高速測量
測量薄膜膜堆的薄膜厚度和折射率
可用于實或在線監(jiān)測薄膜厚度和折射率
具有齊全的光學常數(shù)數(shù)據(jù)庫
提供工程師模式，服務模式和用戶模式三種使用模式
靈活的工程師模式用于各種安裝設置和光學模型測量
一鍵快速測量
全自動標定和初始化
精密樣品準直界面直接樣品準直，不需要額外光學
精密高度和傾斜調整
適合不同材料和不同后的樣品襯底基片
2D和3D數(shù)據(jù)顯示輸出
手動光譜橢偏儀參數(shù)
波長范圍：400-1100nm
波長分辨率：1nm
測量點大?。?-5mm可調
入射角：0-90度可調
入射角分辨率：5度
可測樣品大小：高達200mm 直徑或150x 150mm
可測樣品厚度：高達20mm
測量薄膜厚度：5nm ---30um
測量時間：~1s/點
精度：~0.25%
重復精度：<1A
手動光譜橢偏儀可選配件
反射或透射光度測量配件
微點測量小面積
X-Y位移臺用于厚度繪圖
加熱臺/制冷臺用于薄膜動力學研究
垂直樣品安裝測角計
波長拓寬到IR范圍
掃描單色儀配置
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