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Microprobe-進口微探針臺系統(tǒng)
  • Microprobe-進口微探針臺系統(tǒng)

貨物所在地:上海上海市

地: 進口

更新時間:2024-09-11 09:55:43

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微探針臺系統(tǒng)micro probe system可植入顯微鏡中,把顯微鏡改造成探針臺系統(tǒng),實現(xiàn)微操作和微測量功能。

微探針臺系統(tǒng)micro probe system可植入顯微鏡中,把顯微鏡改造成探針臺系統(tǒng),實現(xiàn)微操作和微測量功能。
微探針臺系統(tǒng)能夠把現(xiàn)有光學(xué)顯微鏡升級成高精度和高穩(wěn)定性的壓電微操縱儀器,非常適合緊湊空間和較短工作距離的顯微鏡使用。適合如下種類的顯微鏡:

正置顯微鏡和倒置顯微鏡

探針臺

半導(dǎo)體檢測儀器

原子力顯微鏡

手套箱和各種環(huán)境箱


微探針臺系統(tǒng)

這款

微探針臺系統(tǒng)非常適合較小的半導(dǎo)體器件的測試,可配備4個微操縱器模塊,可用于電控放大倍數(shù)的顯微鏡和XY樣品臺。

這款

微探針臺系統(tǒng)可以根據(jù)應(yīng)用要求進行晶圓測試配置,滿足亞微米尺度電學(xué)性能測試需要。我們可為您提供XYZ晶圓加載卡盤,提供制冷和加熱功能等集成方案。
微探針臺系統(tǒng)典型應(yīng)用

電學(xué)微探針:測量半導(dǎo)體器件或晶圓的電學(xué)性能

材料測試:測試新材料的電學(xué)性能

微操縱:對微小器件進行微操作微操縱


微探針臺系統(tǒng)規(guī)格參數(shù)

顯微鏡部分

光學(xué)分辨率:約1.1um

放大倍數(shù):2.8X~35.5X(物鏡10X)

工作距離:33.5mm

照明光源:同軸照明LED,光強可調(diào)

相機:1920x1200像素,USB3.0接口

焦距可調(diào)

樣品臺規(guī)格:手動XY位移臺,行程10mm x 10mm, 分辨率0.5mm

樣品尺寸:25.4mm 直徑

電學(xué)探針規(guī)格:

接口:4個BNC接口

電壓范圍:+/-100V

電流范圍:1pA~100mA

電阻:約為3.5V

探針臺模塊規(guī)格

自由度:4個獨立的自由度X,Y,Z,Qz

最大速度:2.5mm/s(XY), 150mrad/s(Z)

運動范圍: Stepping模式:20x20mm(XY), +/-180度(Qz), 42度(Z)

最大定位分辨率:Stepping模式下:50nm(X,Y), 120nm(Z)

探針規(guī)格:0.02'' (0.51mm) shank直徑,針尖半徑5nm~10um


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