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這款微探針系統(tǒng)micro probe是為材料光學(xué)特性和電特性測(cè)試設(shè)計(jì)的納米級(jí)微納探針儀器,可以結(jié)合顯微鏡,光譜儀等儀器在各種環(huán)境條件下現(xiàn)場(chǎng)測(cè)試材料電學(xué)和光學(xué)特性,滿足真空,高溫,氣流,濕度,光照等各種特殊環(huán)境應(yīng)用,內(nèi)體積僅為100cc.
微探針系統(tǒng)規(guī)格參數(shù)

尺寸：W70 x L140 x H31.5mm

重量：650~950克

內(nèi)體積：100cc

適合真空：10^-3mbar(帶旋轉(zhuǎn)泵時(shí)）， 10^-6mbar (帶渦輪分子泵時(shí)）

溫度范圍：-40℃~200℃（Peltier stage), RT~1000℃（電阻加熱臺(tái)），80K~373K(低溫臺(tái)）

探針數(shù)量：4個(gè),6個(gè)，8個(gè) （可根據(jù)電極和應(yīng)用進(jìn)行多種探針布局）

微探針系統(tǒng)特點(diǎn)

*的探針設(shè)計(jì)：探針模塊僅僅30x20x20mm,操作非常靈活,在熱擴(kuò)散引起接觸點(diǎn)偏移的情況下也能保持穩(wěn)定接觸

壓電驅(qū)動(dòng)定位器：超高穩(wěn)定性和分辨率的壓電驅(qū)動(dòng)定位器,緊湊設(shè)計(jì),滿足微定位要求,分辨率50nm,力 1N(100g),XY行程11mm, Z軸行程4.5mm

探針針尖:所有探頭在探頭模塊內(nèi)部和/或外部都有彈簧結(jié)構(gòu)。在氣體流動(dòng)和掃描實(shí)驗(yàn)中也保持穩(wěn)定接觸, 提供50um&100μm針尖,方便接觸墊較小時(shí)選擇。為了更精確的探測(cè)，建議使用可選的精確探測(cè)臂。*針尖尺寸越大，樣品夾緊力和耐久性越好。

微探針系統(tǒng)micro probe應(yīng)用-拉曼光譜,熱諧振頻率測(cè)量,光電流測(cè)量,TEM樣品測(cè)試等