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三維表面輪廓儀是進口的高精度多功能表面輪廓測量儀器，也是一款光學(xué)輪廓儀,非常適合對表面幾何形狀和表面紋理分析，以標(biāo)準(zhǔn)方案或定制性方案對2D輪廓或三維輪廓表面形貌和表面紋理，微米和納米形狀，圓盤，圓度，球度，臺階高度，距離，面積，角度和體積進行多范圍測量。
三維表面輪廓儀根據(jù)國際標(biāo)準(zhǔn)計算2D和3D參數(shù)，使用***新的ISO 25178 標(biāo)準(zhǔn)表面紋理分析，依靠***新的 ISO 16610 濾除技術(shù)進行計算，從而保證了國際公信力。
三維表面輪廓儀創(chuàng)造性地采用接觸式和非接觸式測量合并技術(shù)，一套表面輪廓儀可同時具有接觸式和非接觸式測量的選擇。

三維表面輪廓儀參數(shù)：
XYZ行程范圍：200mm x 200mm x 200mm
***大速度：40mm/s
軸向平整度：<2u/100mm
軸向分辨率：0.062um
測量傳感器：非接觸式共聚焦傳感器
測量范圍：100um-25mm
Z軸分辨率：可達3nm
橫向分辨率：0.9um
臺階高度測量：0.005%
粗糙度測量Ra/Sa: 20nm/20nm
***小測量厚度：4um
表面輪廓儀應(yīng)用：測量輪廓，臺階高度，表面形貌，距離，面積，體積
        分析形態(tài)，粗糙度，波紋度，平整度，顆粒度
                                摩擦學(xué)研究，光譜分析
三維輪廓儀廣泛用于：磨料磨具，航天，汽車，化妝品，能源，醫(yī)療，微機電系統(tǒng)，冶金，造紙和塑料等領(lǐng)域。