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HPS 225系列 AUTO-SOFT 是一個止流閥，在開始抽空時(shí)對低真空泵起節(jié)流作用。AUTO-SOFT能在系統(tǒng)開始抽空的瞬間迅速關(guān)閉，當(dāng)達(dá)到一定設(shè)定的壓差時(shí)則會自動開啟，使整個真空管道線連通以達(dá)到實(shí)現(xiàn)抽真空過程的平衡。在半導(dǎo)體、薄膜以及其它產(chǎn)業(yè)中，AUTO-SOFT 可用來取代壓力控制的旁通閥門來提供抽真空的軟啟動。這種軟啟動過程降低了真空系統(tǒng)中的氣體湍流，使得系統(tǒng)內(nèi)部的殘留顆粒不會被吹起，從而不會破壞整個工作過程。

AUTO-SOFT有一個位于離心軸的葉片，當(dāng)壓差足夠小的時(shí)候，一對螺旋彈簧會使葉片打開，而當(dāng)?shù)驼婵毡眠M(jìn)入運(yùn)行狀態(tài)時(shí)，zui初抽氣氣流會關(guān)閉葉片，自動地對初級泵進(jìn)行截流。

零件編號	尺寸
225-0040	225 系列Auto-Soft NW 40
225-0050	225系列 Auto-Soft NW 50

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