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INFICON SKY® CDG025D-X3電容式隔膜真空計(jì)的高精度、溫度補(bǔ)償型壓力計(jì)，可以在惡劣的生產(chǎn)加工環(huán)境中提供穩(wěn)定的性能。**數(shù)字電子元件可提高儀表性能, 且易操作, 例如一鍵歸零功能和設(shè)定點(diǎn)調(diào)整。防腐蝕超純陶瓷傳感器提供優(yōu)異的零位穩(wěn)定性（包括氣壓突變的情況），預(yù)期使用壽命長(zhǎng)達(dá)數(shù)百萬(wàn)次壓力循環(huán)。傳感器屏蔽（磚利申請(qǐng)中）可防止儀表被過(guò)程污染。堅(jiān)固的機(jī)械設(shè)計(jì)和數(shù)字電子元件可以改進(jìn)電磁兼容性 (EMC)、長(zhǎng)期穩(wěn)定性和溫度補(bǔ)償。CDG025D 為開(kāi)機(jī)后快速穩(wěn)定以及從氣壓中快速恢復(fù)的功能樹(shù)立了新的標(biāo)準(zhǔn)。

SKY® CDG025D-X3電容式隔膜真空計(jì)

好處

1，從 100 mTorr 至 1000 Torr 的滿刻度量程

2，電源接通后快速穩(wěn)定

3，暴露于大氣壓后快速恢復(fù)

4，防腐蝕陶瓷傳感器

5，超卓的長(zhǎng)期信號(hào)穩(wěn)定性

6，溫度補(bǔ)償

7，傳感器受雙重防污染保護(hù)

8，一鍵調(diào)零功能

9，寬范圍電源

10，2個(gè)設(shè)定點(diǎn)

11，RS232 接口

12，無(wú)塵室合規(guī)

典型應(yīng)用

1，用于蝕刻、CVD、PVD 和 ALD 的半導(dǎo)體制造設(shè)備

2，數(shù)據(jù)存儲(chǔ)和顯示器制造設(shè)備

3，工業(yè)真空設(shè)備

4，經(jīng)濟(jì)、高度精準(zhǔn)的壓力測(cè)量

SKY® CDG025D-X3電容式隔膜真空計(jì)

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