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真空技術(shù)的新高度！更智能，更靈活，更高效。

通過(guò)改進(jìn)經(jīng)多年實(shí)際驗(yàn)證并優(yōu)化的軸承技術(shù)，我們將提供給您與其它競(jìng)爭(zhēng)產(chǎn)品相比，更好的產(chǎn)品性能以及更長(zhǎng)的服務(wù)壽命。在這一系列產(chǎn)品中，凈化氣體連接閥保護(hù)了泵中的軸承免受微粒物或者氧化氣體的影響。這不僅使得HiPace產(chǎn)品系列緊湊，同時(shí)也讓該系列產(chǎn)品極其的符合工業(yè)應(yīng)用環(huán)境，換而言之，其具有*的綜合表現(xiàn)。結(jié)合精確的傳感技術(shù)，HiPace系列渦輪分子泵的安全性能達(dá)到了市場(chǎng)Z高水平。

分子泵 Hipace 1000-2000 l/s 產(chǎn)品優(yōu)點(diǎn)：
1、四種抽速，抽速為自1,000 至 2,000 l/s
2、對(duì)于分子量較小氣體以及分子量較大氣體的高抽速
3、適用各種工藝如刻蝕, 濺鍍, 要求，耐粉塵
4、高氣流量，即使對(duì)于分子量較大的氣體
5、集成的 TC 1200 驅(qū)動(dòng)單元，可直接連接一般電源
6、支援腐蝕氣體
7、帶節(jié)氣閥門(mén)的集成密封氣體系統(tǒng)
8、標(biāo)準(zhǔn)接口界面：RS-485 以及遠(yuǎn)程控制；Profibus 或者 DeviceNet 可供選擇
9、符合 IP 54 防護(hù)標(biāo)準(zhǔn)，適用于工業(yè)應(yīng)用環(huán)境
10、符合 Semi S2 規(guī)范
11、符合 UL, CSA 以及 TÜV 認(rèn)證
分子泵 Hipace 1000-2000 l/s 適用領(lǐng)域：
1. 玻璃及刀具鍍膜 2. 真空爐 3. 質(zhì)譜分析 4. 研發(fā)及化工行業(yè) 5.半導(dǎo)體生產(chǎn)
產(chǎn)品規(guī)格：

型號(hào)

連接尺寸 DN

抽速 l/s

壓縮比

zui高啟動(dòng)壓強(qiáng)mbar

冷卻方式

啟動(dòng)時(shí)間

重量

進(jìn)氣口

出氣口

氮?dú)?/span>N₂

氦氣He

氫氣H₂

氮?dú)?/span>N₂

氮?dú)?/span>N₂

min

kg

HiPace^TM1200

200

40

1,250

1,300

1,100

>10⁸

2

水冷

2.5

40

HiPace^TM1500

250

40

1,450

1,350

1,150

>10⁸

2

水冷

2.5

41

HiPace^TM1800

200

40

1,450

1,650

1,700

>10⁸

1.8

水冷

4

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提示

型號(hào)	連接尺寸 DN		抽速 l/s			壓縮比	zui高啟動(dòng)壓強(qiáng)mbar	冷卻方式	啟動(dòng)時(shí)間	重量
型號(hào)	進(jìn)氣口	出氣口	氮?dú)?/span>N₂	氦氣He	氫氣H₂	氮?dú)?/span>N₂	氮?dú)?/span>N₂		min	kg
HiPace^TM1200	200	40	1,250	1,300	1,100	>10⁸	2	水冷	2.5	40
HiPace^TM1500	250	40	1,450	1,350	1,150	>10⁸	2	水冷	2.5	41
HiPace^TM1800	200	40	1,450	1,650	1,700	>10⁸	1.8	水冷	4	34