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ASTeX® 等離子體電源 廣泛應(yīng)用于 CVD ， ETCH ，去膠等晶圓工藝。

• R*evolution® - AX7690 集成遠(yuǎn)程等離子體源用于晶圓工藝
• AX2600 集成等離子體系統(tǒng)
• SmartPower® - AX2500 系列微波電源
• ASTeX® – AX7610 下游等離子體源

SEMOZON® 臭氧發(fā)生器及集成系統(tǒng)， LIQUOZON® 臭氧水循環(huán)系統(tǒng)廣泛應(yīng)用于 CVD ，去膠和濕法清洗等工藝。

• O3MEGA® AX8561 臭氧發(fā)生器集成系統(tǒng)
• SEMOZON® AX8500 系列臭氧發(fā)生器集成系統(tǒng)
• SEMOZON® AX8400 系列臭氧發(fā)生器
  
• LIQUOZON® Smart 臭氧水遞送系統(tǒng)。提供高濃度、大流量臭氧水
• LIQUOZON® Single 臭氧水遞送系統(tǒng)。緊湊型設(shè)計(jì)，適合于單片硅片清洗系統(tǒng)
• LIQUOZON® LoopO3 臭氧水循環(huán)遞送系統(tǒng)。緊湊型設(shè)計(jì)，帶循環(huán)水泵，主要用于硅片清洗工藝
• LIQUOZON® 100 和 XF 臭氧水遞送系統(tǒng)

ENI® 提供高可靠的固態(tài)電源，其頻率從 1MHz 到 60MHz， 功率從 3 百瓦至 13千瓦，還可選自動(dòng)頻率調(diào)諧，廣泛地應(yīng)用于 Etch， CVD 和 PVD等工藝。

• 中頻射頻功率電源 （1-4MHz）
  • NOVA® 系列，功率為 2.5 千瓦和 5千瓦，自動(dòng)頻率調(diào)諧可選。
  • Spectrum® 系列，功率從 5千瓦至 11千瓦，自動(dòng)頻率調(diào)諧可選。
• 高頻射頻功率電源 （13.56MHz）
  • GHW 系列電源，功率從 1.5 千瓦至 5 千瓦，自動(dòng)頻率調(diào)諧可選。
    
  • Spectrum® 系列電源，功率從 1.5 千瓦至 10.5 千瓦，自動(dòng)頻率調(diào)諧可選。
  • SurePower® 系列電源，功率從 1.5 千瓦至 13 千瓦，自動(dòng)頻率調(diào)諧可選。
• 超高頻射頻功率電源 （27.12-60MHz）：
  • GEW 系列電源，功率從 1.5 千瓦至 3千瓦，自動(dòng)頻率調(diào)諧可選。