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 GE50A彈性密封數(shù)字流量控制器 GE50A013204R5B010有少量*處理

GE50A是一種通用的、彈性密封質(zhì)量流量計(jì)，適用于需要5sccm-50slm（N₂當(dāng)量）流量控制的各種應(yīng)用場合；其采用了的數(shù)字流量控制電子設(shè)備，以及擁有成熟的，獲得的熱傳感器和機(jī)械設(shè)計(jì)。

GE50A數(shù)控質(zhì)量流量計(jì)有兩種I/O選擇：數(shù)字或模擬。數(shù)控電子部分采用的的MKS控制算法，在貫穿整個(gè)控制范圍內(nèi)，對設(shè)點(diǎn)提供快速，可重復(fù)的響應(yīng)。標(biāo)準(zhǔn)響應(yīng)時(shí)間為500毫秒。GE50A還包括一個(gè)數(shù)字校準(zhǔn)，可對校準(zhǔn)氣體產(chǎn)生不超過1％的設(shè)點(diǎn)精度?？梢暂p松取代相同I / O類型的1179A系列流量計(jì)。

GE50A采用的是在5sccm到50slm流速范圍內(nèi)MFCzui常用的標(biāo)準(zhǔn)3英寸機(jī)體，使得對它的使用不需要修改現(xiàn)有行氣配置。 在設(shè)計(jì)上還采用了極少使用的彈性體，只有一個(gè)外部彈性體密封件和彈性體閥芯，其他所有濕潤表面都是金屬材質(zhì)。GE50A標(biāo)配Viton®材質(zhì)密封以及可供選擇的丁腈橡膠和氯丁橡膠，允許使用不同氣體的設(shè)備從中找到選擇。

特點(diǎn)和長處：

◇ 擁有設(shè)計(jì)的熱傳感器，提供了的零點(diǎn)穩(wěn)定性。

◇ 校準(zhǔn)氣體1%的設(shè)點(diǎn)精度，實(shí)現(xiàn)了精確的過程控制。

◇ 嵌入式用戶界面提供了以下兩項(xiàng)功能：

-輕松改變設(shè)備的范圍和降低用氣庫存要求

-監(jiān)控設(shè)備的功能，現(xiàn)場收集性能數(shù)據(jù)

◇ 兼容的模擬和數(shù)字（RS485，DeviceNet，PROFIBUS®）I / O，可以取代對應(yīng)的1179A

◇ CE標(biāo)志，符合RoHS - 歐盟會議要求

美國編號：5461913.