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寶德Burkert葉輪式流量傳感器的結(jié)構(gòu)及工作原理
流量檢測在工業(yè)生產(chǎn)和日常生活中應(yīng)用廣泛.
寶德Burkert微流量傳感器主要用于測量流體的流速。流量、流向等性質(zhì).根據(jù)其測量原理的不同,可分為熱式流盆傳
感器和非熱式流量傳感器兩大類.寶德Burkert熱式流量傳感器主要依靠傳感器與流體間的熱相互作用來進行側(cè)
量.該類burkert傳感器由于易采用半導(dǎo)體工藝制造,具有體積小、成本低、可以批zui生產(chǎn),同時能與處理電路集
成在同一芯片上,使寶德Burkert傳感器的愉出直接實現(xiàn)數(shù)字化,易于與計算機接口等優(yōu)點.但寶德Burkert熱流量傳感器也存在一定的不足,如反應(yīng)時間較長、功耗大、襯底的熱傳導(dǎo)導(dǎo)致測量誤差、零點隨環(huán)境溫度的漂移等問題;對
流體加熱,也限制了熱式微流量寶德Burkert傳感器在生物技術(shù)方面的應(yīng)用
寶德Burkert葉輪式流量傳感器結(jié)構(gòu)及工作原理
寶德Burkert葉輪式流量傳感器的結(jié)構(gòu)及工作原理:
寶德Burkert葉輪式流量傳感器屬于非熱式傳感器,它是通過檢測流體使葉片轉(zhuǎn)動的轉(zhuǎn)速來反應(yīng)流體的流量.
該結(jié)構(gòu)的中間陰影部分是轉(zhuǎn)動軸,硅葉片作為電容的一個極板,由制作在玻璃板上的金屬
薄膜(黑色區(qū)域)構(gòu)成電容的另一極板.當(dāng)有流體流過時,硅葉片以硅柱為軸開始轉(zhuǎn)動,轉(zhuǎn)動的速度與流量的大小有關(guān).由于電容的兩個極板相對的面積隨葉片的轉(zhuǎn)動在周期性的改變,由此產(chǎn)生的電容也將
作周期性的變化,且電容變化的頻率與轉(zhuǎn)速有關(guān).當(dāng)通過電容檢測電路測出電容變化的頻率,則可以通
過一定的對應(yīng)關(guān)系將轉(zhuǎn)速轉(zhuǎn)換成電信號翰出,從而反應(yīng)出流量的大小.采用電容檢側(cè)的優(yōu)點主要是容
易與Burkert寶德傳感器制備工藝相結(jié)合,減少了工藝難度,同時由于檢測的是數(shù)字信號,避免了失調(diào)、溫漂等線性電路難以解決的問題.