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半自動旋涂顯影刻蝕機 LCS

LCS專為晶圓和平面基片的半自動旋涂和開發(fā)而設(shè)計，將是試點項目、研究所和研發(fā)的*。 它保證了高均勻性和可重復(fù)性以及簡單的操作和維護。 它可以處理最大 150 毫米的晶圓或最大 125x125 毫米的方形基片。

為了與試劑等化學(xué)品相兼容，腔體材質(zhì)是由 POM、陽極氧化鋁、聚丙烯、不銹鋼或 PTFE 制成。

旋涂工藝程序通過觸摸屏進行設(shè)置。 用戶可以編寫多達 20 個步驟的 50 個程序段。每一步可設(shè)置不同的速度、加速度和時間參數(shù)。

選配項：

· 背面沖洗 (BSR)

· 晶圓去邊 (EBR)

· 氣動注射器分配系統(tǒng)

· 電動注射器分配系統(tǒng)

· 帶數(shù)字儀表和壓力控制的加壓瓶分配系統(tǒng)

· 各種真空或機械托盤

· 晶圓對準(zhǔn)工具

· 腔體材質(zhì)由陽極氧化鋁、聚丙烯或 PTFE 制成

特征：

· 擁有觸摸屏界面

· 多達 5 條試劑管路

· 具有可編程分配高度的電動臂

· 占地面積小 600x625 毫米

· 自動透明蓋

· 多種尺寸旋涂托盤

· 托盤更換快速簡便

· 處理腔室易清洗

技術(shù)參數(shù)：