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初步了解無塵烘烤箱

閱讀:1411發(fā)布時(shí)間:2020-7-24

  Class100 潔凈烘箱系列用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅(jiān)膜烘烤和顯影后的高溫烘烤;也適用于電子液晶顯示、LCD、TP、CMOS、IS、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門;也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗(yàn)。
 
  產(chǎn)品特點(diǎn):
 
  1.在普通環(huán)境下使用,能夠確保烘箱內(nèi)部等級(jí)達(dá)到Class 100
 
  2.全周氬焊,耐高溫硅膠破緊,SUS304#不銹鋼電熱生產(chǎn)器,防機(jī)臺(tái)本身所產(chǎn)生微塵;
 
  3.采平面水平由后向前送風(fēng)后經(jīng)美國進(jìn)口H.E.P.A Filter 20"×20"裝置往前門(特殊風(fēng)道設(shè)計(jì))方向送風(fēng),過濾效率99.99%,Class 100,排氣口:3"φ(附自動(dòng)啟閉風(fēng)門)
 
  4.強(qiáng)制送風(fēng)循環(huán)方式。雙風(fēng)道循環(huán)結(jié)構(gòu),溫度場分布均勻,智能P.I.D溫控系統(tǒng),得到*溫度控制精度。
 
  設(shè)備簡介:
 
  1、箱體結(jié)構(gòu):
 
  烘箱由箱體部分、電器控制柜、電加熱及風(fēng)道系統(tǒng)組裝而成,結(jié)構(gòu)合理,外觀美觀大方;
 
  箱體材料:外箱采用SUS304 ,1.5mm之拉絲不銹鋼,并經(jīng)堿性蘇打水清潔,可防止微塵;
 
  內(nèi)膽材料:采用優(yōu)質(zhì)SUS304,2.0mm厚之鏡面不銹鋼板,并經(jīng)堿性蘇打水清潔,去油污避免烘烤時(shí)產(chǎn)生 PARTICLE;
 
  中桶材料:采用優(yōu)質(zhì)SUS304,2.0mm厚之鏡面不銹鋼板,并經(jīng)堿性蘇打水清潔,去油污及氬焊密封加工(防污染)。
 
  2、溫控系統(tǒng):
 
  采用日本“神港”溫度控制器,控制器LED數(shù)字顯示及設(shè)定、PID自 動(dòng)演算、薄膜設(shè)定,準(zhǔn)確度±0.3%FS。
 
  訊號(hào)來源:采用PT100熱電阻±0.5%。
 
  輸出被控制組件:SSR無接點(diǎn)訊號(hào)輸出。
 
  3、完善的安全保護(hù)措施:
 
  漏電斷路器、控制線路保險(xiǎn)絲裝置、超溫防止保護(hù)裝置、電熱過電流保護(hù)裝置、馬達(dá)過電流保護(hù)、機(jī)臺(tái)異常蜂鳴器警示 逆向防止器、門面安全開關(guān)
 
  4、選購設(shè)備:
 
  可程式溫控器        無紙記錄儀        三色指示燈          烘烤架
 

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