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等離子清洗機(jī)作為一種微觀固體表面的處理設(shè)設(shè)備，是一種全新的表面處理方案。等離子體是物質(zhì)的一種狀態(tài)，也叫做物質(zhì)的第四態(tài)。對氣體施加足夠的能量使之離化便成為等離子狀態(tài)。等離子體的“活性"組分包括：離子、電子、活性基團(tuán)、激發(fā)態(tài)的核素（亞穩(wěn)態(tài)）、光子等。等離子清洗機(jī)就是通過利用這些活性組分的性質(zhì)來處理樣品表面，從而實現(xiàn)清潔等目的。

等離子清洗機(jī)作為一種微觀固體表面的處理設(shè)設(shè)備，是一種全新的表面處理方案。等離子體是物質(zhì)的一種狀態(tài)，也叫做物質(zhì)的第四態(tài)。對氣體施加足夠的能量使之離化便成為等離子狀態(tài)。等離子體的“活性"組分包括：離子、電子、活性基團(tuán)、激發(fā)態(tài)的核素（亞穩(wěn)態(tài)）、光子等。等離子清洗機(jī)就是通過利用這些活性組分的性質(zhì)來處理樣品表面，從而實現(xiàn)清潔等目的。

主要應(yīng)用于半導(dǎo)體、鍍膜工藝、PCB制程、PCB制程、元器件封裝前、COG前、真空電子、連接器和繼電器等行業(yè)的精密清洗，塑料、橡膠、金屬和陶瓷等表面的活化以及生命科學(xué)實驗等。

該清洗機(jī)內(nèi)置高純石英倉體，采用了新型的電極結(jié)構(gòu)設(shè)計和固態(tài)電源技術(shù)，使其有效容積增大，不同真空氣體環(huán)境下容易匹配，且控制頻率穩(wěn)定。真空倉門有觀察窗，可直觀物體的處理過程，其射頻電源與控制都組裝在一個機(jī)箱內(nèi)，即減少了空間的占用，更便于操作和放置，同時與大型清洗機(jī)相比較，從檢測功能與控制功能的設(shè)置上均可一個面板上操作，特別適用科學(xué)實驗樣品清洗和教學(xué)。

設(shè)備型號	Z5KQX	S2DQX
控制方式	7寸觸摸屏人機(jī)界面	7寸觸摸屏人機(jī)界面
供電電源	AC220V（AC110V可選)
工作電流	整機(jī)工作電流不大于3.5A(不含真空泵)
射頻電源功率	500W	150W
匹配方式	自動匹配	手動匹配
清洗頻率	40KHz	13.56MHz
耦合方式	電容耦合
工作真空	≤30Pa		≤50Pa
腔體材質(zhì)	高純石英
腔體容積	5L(內(nèi)徑Φ152mmX深度280mm)	2L(內(nèi)徑Φ110mmX深度220mm)
觀察窗內(nèi)徑	Φ50	Φ50
氣體流量	0-50ml/min（熱式質(zhì)量流量傳感器X2個）
真空計量程	1E5Pa至1E-1Pa（皮拉尼真空計）
過程控制	自動切換	手動匹配自動切換
清洗時間	自動開關(guān)
開蓋方式	鉸鏈側(cè)開式法蘭
外形尺寸	450450250mm	450450360mm
真空室溫度	小于65°C
冷卻方式	強(qiáng)制風(fēng)冷
標(biāo)配	KF16真空管1米，kf16卡箍2個，不銹鋼網(wǎng)匣1個，電源線一根，說明書一本。

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