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量塊比較儀測量

閱讀:2082        發(fā)布時間:2012-3-7

量塊比較儀測量
要求所用儀器具有*的測量精度。所以傳感器機(jī)械部分的制造精良非常重要。公司在近二十年的潛心研究和制造過程中,發(fā)展了一整套技術(shù)和可稱之為“know how”的專有技術(shù)。制造的傳感器具有上zui高的測量精度,經(jīng)國家zui高計量機(jī)構(gòu)多次檢測和認(rèn)定,WS16的產(chǎn)品的精度可達(dá)到3納米級(0.003+0.00)µm。對于一般精度要求的產(chǎn)品,我公司有深厚的技術(shù)基礎(chǔ)預(yù)以保證。在供貨技術(shù)指標(biāo)上有充足的裕量。多年來,國家發(fā)給我公司的生產(chǎn)許可證就是3納米級的生產(chǎn)許可證。這也是我國*的一個3納米級的生產(chǎn)許可證。為此國家*每三年都要對我公司產(chǎn)品進(jìn)行重復(fù)的樣機(jī)實驗,并對生產(chǎn)場地進(jìn)行復(fù)查。

目前市場上有些制造單位不作任何基礎(chǔ)研究和基礎(chǔ)投資,采購扭簧比較儀作為傳感器的機(jī)械部分。這樣從根本上就限制了測量重復(fù)性的提高。這類儀器只可能勉強(qiáng)達(dá)到0.04µm

另外目前有些制造單位為了實現(xiàn)不用或少用標(biāo)準(zhǔn)量塊檢三等量塊,采用高分辨力高重復(fù)性光柵傳感器制造量塊比較儀。雖然光柵在遠(yuǎn)距離位移測量方面(千百毫米級)有優(yōu)勢,但原理決定了任何光柵儀器的轉(zhuǎn)換函數(shù)曲線都含有微抖動成分,所以無論比較距離遠(yuǎn)近,都會攜帶一定數(shù)值的由這些抖動成分帶來的誤差。在量塊檢定中,遠(yuǎn)距離比較實際意義不大。而測量精度卻是有決定性意義的。用犧牲有決定性意義的事情換取意義不大的遠(yuǎn)距離比較測量優(yōu)勢,顯然是屬于技術(shù)方案性的錯誤。目前我國計量機(jī)構(gòu)已經(jīng)認(rèn)定的zui高精度光柵傳感器產(chǎn)品的測量誤差是0.04µm,國外生產(chǎn)的高精度光柵傳感器產(chǎn)品也是這個水平。此外,如果真想實現(xiàn)少用標(biāo)準(zhǔn)量塊遠(yuǎn)距離比較測量檢定三等量塊,在環(huán)境條件和檢定工時等方面都必須付出*的代價,所以目前在國內(nèi)外已經(jīng)獲得廣泛應(yīng)用的電腦量塊比較儀,無一例外都是采用電感式傳感器的產(chǎn)品。

zui后還要說一點,三等量塊的不確定度是0.1+1L。所以0.04級精度的儀器在精度上是無法勝任的。一般在檢定工作中,所用儀器的精度至少應(yīng)該達(dá)到被檢定器具不確定度的四分之一。

精度等級
 示值誤差μm
 示值范圍μm
 適應(yīng)的工作
 
本公司推薦
 滿足規(guī)程
 
珍寶(TR)
 ±(0.003+0.00)
 ≥20
 一等傳二等特殊工作
 
非常高(UH)
 ±(0.006+0.00)
 ≥40
 一等傳二等特殊工作
 
甚高(VH)
 ±(0.010+0.00)
 ≥100
 二等傳三等二等輪比
 
高(H)
 ±(0.020+0.00)
 ≥200
 二等傳三等
 
普通(N)
 ±(0.030+0.00)
 ≥300
 三等傳四等
 二等傳三等
 
低(L)
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