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目錄:中美合資合肥科晶材料技術有限公司>>等離子清洗機系列>> 小型等離子清洗機--PCE-6

小型等離子清洗機--PCE-6
  • 小型等離子清洗機--PCE-6
參考價 面議
具體成交價以合同協(xié)議為準
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  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)商
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更新時間:2025-02-10 18:10:25瀏覽次數(shù):3318評價

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PCE-6小型等離子清洗機的等離子腔體為 Φ160mm×190mm的石英腔體,采用的射頻電源功率3.0MHz(1%),輸出功率7.2W、10.2W、29.6W三檔可調(diào)。本機主要是通過空氣、氧氣或氬氣等氣體的等離子體來去除基片上的氧化層和污染物,同時也可改變物體表面的性質(zhì)(如親水和疏水性等),對于基片的清洗以及薄膜處理是較為理想的設備。

        PCE-6小型等離子清洗機的等離子腔體為 Φ160mm×190mm的石英腔體,采用的射頻電源功率3.0MHz1%),輸出功率7.2W、10.2W29.6W三檔可調(diào)。本機主要是通過空氣、氧氣或氬氣等氣體的等離子體來去除基片上的氧化層和污染物,同時也可改變物體表面的性質(zhì)(如親水和疏水性等),對于基片的清洗以及薄膜處理是較為理想的設備。

 

技術參數(shù)

主要特點

  • 通過控制面板的按鍵及開關,可控制調(diào)節(jié)射頻功率、真空泵的開閉、清洗時間。
  • 時間、功率、真空度等信息顯示在一組4位數(shù)碼管上。
  • 設有一個三通閥,可精確控制進氣流量,以及大氣流清洗腔體。
  • 選用大功率色射頻電源設備可進行等離子刻蝕和等離子灰化實驗。

參數(shù)

  • 電源:AC220V  50/60Hz
  • 輸出功率:7.2W、10.2W29.6W
  • 真空泵功率:<500W
  • 總功率:<600W 
  • 射頻頻率:3.0MHz,功率3檔可手動調(diào)節(jié)
  • 等離子腔體:高純石英腔體,Φ160mm×190mm,采用鋁制折疊式法蘭進行密封,法蘭上設有Φ45mm 的觀察窗
  • 真空泵:24L/min,直連式雙旋真空泵
  • 極限真空度:50mtorr
  • 通入氣體:可通入多種氣體來產(chǎn)生等離子,如N2Ar、H2、O2、Air和混合氣體等(根據(jù)材料性質(zhì)選定)

產(chǎn)品規(guī)格

  • 尺寸:400mm×300mm×300mm
  • 重量:10.2kg

可選配件

  • 2″-6″石英舟(盛放基片)
  • 2-4通道質(zhì)子或浮子混氣系統(tǒng)

質(zhì)保期

一年質(zhì)保期,終身維護

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