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單溫區(qū)GSL-1100X-6-S-6單溫區(qū)CVD真空管式爐
  • 單溫區(qū)GSL-1100X-6-S-6單溫區(qū)CVD真空管式爐

貨物所在地:安徽合肥市

更新時間:2025-01-22 21:00:06

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GSL-1100X-6-S 是一款爐管內徑為 6“ 的真空管式爐 , 它可以在Z大5“的基片上生長多種薄膜(在不同氣氛下). 該爐的Z高工作溫度為 1100°C, 采用30段可編程PID數字溫度控制器,溫控精度: ±1°C。

    GSL-1100X-6-S 是一款爐管內徑為  6" 的真空管式爐 , 它可以在zui大5“的基片上生長多種薄膜(在不同氣氛下). 該爐的zui高工作溫度為 1100°C, 采用30段可編程PID數字溫度控制器,溫控精度: ±1°C。


技術參數

爐體結構

  • 雙層殼體,循環(huán)風冷
  • 爐體表面溫度< 70 oC
  • 采用高純度氧化鋁多晶纖維保溫材料,環(huán)保節(jié)能

工作電壓

AC 220V

功率

8KW

爐管規(guī)格

  • 6" O.D x  40" 
  •  標配內包含一只石英管多余的管子可單獨訂購 (點擊下圖查看)

加熱元件

NiCrAl 電阻絲

工作溫度

  • 工作溫度: 400 -1100°C
  • 升降溫速率: 10°C/min(max)

加熱區(qū)

  • 加熱區(qū)總長:    600mm (24'')
  • 恒溫區(qū)長度中心200mm (精度±1°C)
  • 800℃時爐膛溫度分布曲線點擊下圖查看)    

控溫儀

  • 采用30段可編程PID數字溫度控制器
  • 設有一個額外的溫度校準檢測系統(tǒng)
  • K型熱電偶測溫.
  • 溫控精度: ±1°C
  • 軟件接口、模塊和PC機不在標配內需額外訂購
  • 可選: PC接口和軟件

密封法蘭和進氣接口

  • 不銹鋼真空密封法蘭雙硅膠密封圈密封真空度可達到  (機械泵:10-2 torr、分子泵:10-4 torr).  真空泵不包含在內
  •  右端法蘭上設有一個鎧裝熱偶檢測口和KF40真空接口.   如需對爐膛溫度進行校準請訂購36" 長 x 1/4"dia  K 型熱電偶)
  • 包括兩個高純氧化鋁或石英管堵,設備使用時右端必須安裝管堵阻止熱的輻射

產品尺寸

爐體:  1000L x 680W x 920 H  mm

凈重

250Kg

保修期

整機保修一年,相關耗材除外。(如密封圈、爐管等)

質量認證

   Certificate

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