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QUANTUM量子科學儀器貿易(北京)有限公司

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[供應]nanoEM-多功能高磁控濺射噴金儀—nanoEM

貨物所在地:北京北京市

更新時間:2025-04-18 21:00:08

有效期:2025年4月18日 -- 2025年10月18日

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多功能高磁控濺射噴金儀—nanoEM是Moorfield Nanotechnology推出的款高精度的磁控濺射噴金儀。

多功能高磁控濺射噴金儀—nanoEM

 

    nanoEM是Moorfield Nanotechnology推出的款高精度的磁控濺射噴金儀。該系統(tǒng)可配備SEM樣品托、TEM網、普通樣品等多種樣品臺,滿足各種高精度的噴金或電生長需求。除了濺射金屬電外,nanoEM還具有大的拓展空間,雖然作為臺式設備,nanoEM配備了輸出功率可達300W的濺射源,系統(tǒng)還可選擇樣品臺旋轉、樣品傾斜、自動壓強控制等多種功能。豐富的選件和配置可以滿足學術研究的多種樣品生長需求,可升成為臺多功能的磁控濺射薄膜制備系統(tǒng)。該設備作為靈活的高精度金屬濺射儀備受各大實驗室的青睞。

主要點:

◎  能夠達到學術研究的多功能噴金儀

◎  SEM托、TEM網、普通樣品多種樣品臺可選

◎  可安裝兩個2英寸濺射源

◎  通用的濺射靶材

◎  本底真空<5×10-7 mbar

◎  流量計精確控制生長氣氛

◎  可調式DC濺射源,輸出功率可達300W

◎  全自動,引導式觸屏控制

◎  完備的安全性設計

◎  易于維護

◎  兼容超凈室

◎  穩(wěn)定的性能表現(xiàn)

 

系統(tǒng)選件:

◎  腔體視窗

◎  真空泵型號可選

◎  氣壓全自動控制系統(tǒng)

◎  濺射源擋板

◎  等離子體輝光電

◎  樣品臺旋轉與傾斜

◎  晶振膜厚監(jiān)測系統(tǒng)

 

 

 

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