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賽默飛測(cè)量控制與材料鑒別

透射電鏡的工作原理及組成部分

時(shí)間:2023-2-21 閱讀:1350
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   為幫助研究人員在低束流條件下更快速地獲得各類型樣品(包括電子束敏感材料)的二維和三維化學(xué)信息,我們?cè)赥alos F200i掃描透射電鏡(S/TEM)中加裝了一對(duì)對(duì)稱設(shè)計(jì)的100 mm2 Racetrack能譜儀(雙X射線)。這一更新突破了使用非對(duì)稱EDS難以獲得有效定量數(shù)據(jù)的瓶頸,并能讓科研工作者以更快的方式在(亞)納米尺度對(duì)材料進(jìn)行表征。

 


   工作原理:
   透射電鏡和光學(xué)顯微鏡的各透鏡及光路圖基本一致,都是光源經(jīng)過(guò)聚光鏡會(huì)聚之后照到樣品,光束透過(guò)樣品后進(jìn)入物鏡,由物鏡會(huì)聚成像,之后物鏡所成的一次放大像在光鏡中再由物鏡二次放大后進(jìn)入觀察者的眼睛,而在電鏡中則是由中間鏡和投影鏡再進(jìn)行兩次接力放大后最終在熒光屏上形成投影供觀察者觀察。
   TEM系統(tǒng)由以下幾部分組成:
   1、 電子槍:發(fā)射電子。由陰極,柵極和陽(yáng)極組成。陰極管發(fā)射的電子通過(guò)柵極上的小孔形成射線束,經(jīng)陽(yáng)極電壓加速后射向聚光鏡,起到對(duì)電子束加速和加壓的作用。
   2、 聚光鏡:將電子束聚集得到平行光源。
   3、樣品桿:裝載需觀察的樣品。
   4、物鏡:聚焦成像,一次放大。
   5、中間鏡:二次放大,并控制成像模式(圖像模式或者電子衍射模式)
   6、投影鏡:三次放大。
   7、熒光屏:將電子信號(hào)轉(zhuǎn)化為可見光,供操作者觀察。
   8、 CCD相機(jī):電荷耦合元件,將光學(xué)影像轉(zhuǎn)化為數(shù)字信號(hào)。

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