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先鋒科技（香港）股份有限公司

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McPherson真空紫外光譜儀總覽

閱讀：3223 發(fā)布時間：2018-12-5
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真空紫外～軟X射線光譜儀總覽
McPherson可提供掠入射紫外光譜儀,C-T，S-N，正入射，平場掠入射，掠入射C-T等多種結(jié)構(gòu)的光譜儀，滿足不同的應(yīng)用，覆蓋紅外 - 可見 - 紫外 - 真空紫外 - 紫外 - 軟X射線全波段。
大多數(shù)光譜儀可以和Andor 真空紫外CCD相機配合使用，成為該波段的攝譜儀。
同時，McPherson提供范圍為寬廣的VUV - XUV 光源、真空內(nèi)光學(xué)器件、真空快門、真空狹縫等等，并可組建完整的真空紫外光譜系統(tǒng)。

波長范圍
(nm)
分辨率
(nm)
焦距
(mm)
型號
結(jié)構(gòu)
掃描
功能
CCD/
MCP適配
成像
超高真空
（選項）
30 - 2,200
0.1
200
234/302
像差矯正S-N
●
●

●
30 - 1,200
0.05
500
235
S-N
●
●

●
105 - 20,000
0.04
670
207V
C-T
●
●
●
●
30 - 1,200
0.015
1,000
225
自動聚焦正入射
●
●
●
●
30 - 1,200
0.025
1,000
231
S-N
●
●

●
105 - 20,000
0.01
1,330
209V
C-T
●
●
●
●
30 - 250
0.005
3,000
2253
自動聚焦正入射
●
●
●
●
30 - 250
<0.002
6,650
265
離面正入射
●
●
●
●
<1 - 310
0.018
1,000
248/310
羅蘭圓掠入射
●
●

●
<1 - 80
0.02
5,650
251MX
平場變柵距光柵掠入射

●

●
8 - 120
0.08
800
OP-XCT
離面掠入射C-T
●
●
●
●
8 - 120
0.1
2,000
XCT
掠入射 C-T
●
●
●
●
10 - 170
0.05
292
251
平場輪胎面光柵掠入射

●
●
●

離面掠入射C-T結(jié)構(gòu)光譜儀

234/302 S-N 結(jié)構(gòu)光譜儀

XUV空心陰光源

真空紫外光譜測試系統(tǒng)

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波長范圍 (nm)	分辨率 (nm)	焦距 (mm)	型號	結(jié)構(gòu)	掃描功能	CCD/ MCP適配	成像	超高真空（選項）
30 - 2,200	0.1	200	234/302	像差矯正S-N	●	●		●
30 - 1,200	0.05	500	235	S-N	●	●		●
105 - 20,000	0.04	670	207V	C-T	●	●	●	●
30 - 1,200	0.015	1,000	225	自動聚焦正入射	●	●	●	●
30 - 1,200	0.025	1,000	231	S-N	●	●		●
105 - 20,000	0.01	1,330	209V	C-T	●	●	●	●
30 - 250	0.005	3,000	2253	自動聚焦正入射	●	●	●	●
30 - 250	<0.002	6,650	265	離面正入射	●	●	●	●
<1 - 310	0.018	1,000	248/310	羅蘭圓掠入射	●	●		●
<1 - 80	0.02	5,650	251MX	平場變柵距光柵掠入射		●		●
8 - 120	0.08	800	OP-XCT	離面掠入射C-T	●	●	●	●
8 - 120	0.1	2,000	XCT	掠入射 C-T	●	●	●	●
10 - 170	0.05	292	251	平場輪胎面光柵掠入射		●	●	●