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技術文章

探針臺故障診斷方法總結(jié)

點擊次數(shù):468 發(fā)布時間:2025-4-30

一、?機械定位類故障?

1?探針無法移動或定位失準?

l ?診斷方法?:檢查電源通斷狀態(tài),觀察驅(qū)動器/電機是否異常運行;使用顯微鏡校準探針與樣品臺的水平度。

l ?解決方案?:更換損壞的電機或電路板;緊固機械部件并重新校準X/Y/Z軸定位系統(tǒng)。

2、?探針與樣品接觸異常?

l ?診斷方法?:觀察探針jian端是否彎曲/氧化,檢查樣品表面平整度。

l ?解決方案?:更換老化探針或調(diào)整探針壓力至合適范圍(推薦壓力:0.1-0.5N);使用真空卡盤吸附固定樣品以消除位移。

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二、?電接觸與信號類故障?

1、?探針接觸不良導致信號失真?

l ?診斷方法?:通過示波器檢測信號波形是否異常(如噪聲增大、幅值波動);測量探針電阻值是否超出標準范圍(通常<)。

l ?解決方案?:使用酒精清潔探針和被測點,消除氧化層或污染物;調(diào)整射頻探針阻抗匹配模塊(針對高頻測試場景)。

2、?測試數(shù)據(jù)不準確或重復性差?

l ?診斷方法?:對比多次測試結(jié)果差異,排查環(huán)境干擾(如溫濕度波動)。

l ?解決方案?:啟用真空/正壓環(huán)境隔離外部干擾;校準測試設備(如源表、示波器)的基準參數(shù)。

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三、?環(huán)境控制類故障?

1、?真空度不足或泄漏?

l ?診斷方法?:使用氦質(zhì)譜檢漏儀定位漏點,檢查密封圈/管道連接狀態(tài)。

l ?解決方案?:更換老化密封圈(推薦材料:氟橡膠);啟動備用真空泵組提升抽氣效率。

2、?溫度控制失效?

l ?診斷方法?:監(jiān)控溫控系統(tǒng)反饋信號,驗證傳感器精度(誤差>±1℃需排查)。

l ?解決方案?:更換故障的溫度傳感器;調(diào)整PID控制算法參數(shù)以優(yōu)化響應速度。

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四、?光學系統(tǒng)類故障?

1、?顯微鏡成像模糊或亮度異常?

l ?診斷方法?:檢查物鏡/目鏡清潔度,確認孔徑光欄開度是否匹配(建議開度:70%-80%)。

l ?解決方案?:使用無塵布清潔光學鏡頭;調(diào)節(jié)樣品臺水平度至雙軸誤cha <0.01°。

五、?通用排查流程?

1、?直覺法?:觀察設備外觀是否有斷線、元件燒毀等直觀異常。

2、?替換法?:用正常部件(如探針、傳感器)替換可疑元件驗證故障點。

3?參數(shù)對比法?:將故障數(shù)據(jù)與歷史正常數(shù)據(jù)對比,定位偏差環(huán)節(jié)。

探針臺故障診斷方法總結(jié)



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