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廣州市愛宕科學(xué)儀器有限公司
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首頁 >> 資料下載 >> 日本ATAGO（愛宕）折光儀在光刻設(shè)備中的應(yīng)用
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浸入式光刻是指在光刻機投影鏡頭與半導(dǎo)體硅片之間用一種液體充滿，從而獲得更好分辯率及增大鏡頭的數(shù)值孔徑，進而實現(xiàn)更小曝光尺寸的一種新型光刻技術(shù)。日本ATAGO（愛宕）是折光儀產(chǎn)品的，其*的高折射率阿貝折射儀及多波長阿貝折射儀在光刻機領(lǐng)域高折射率浸入液的研究與高折射率鏡頭的研究中具有不可替代的作用。
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