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能對(duì)應(yīng)150 mm晶圓／FPD玻璃基板的手動(dòng)操作型號(hào)（反射透射兼用）
對(duì)應(yīng)從明視場(chǎng)觀(guān)察到熒光觀(guān)察的多種觀(guān)察方法。高度的擴(kuò)展性能可以對(duì)應(yīng)不同的樣品，性?xún)r(jià)比優(yōu)異。
產(chǎn)品簡(jiǎn)介
詳細(xì)介紹
能對(duì)應(yīng)200 mm晶圓和FPD玻璃基板的電動(dòng)型號(hào)（反射透射兼用）
能夠應(yīng)對(duì)從明視場(chǎng)觀(guān)察到熒光觀(guān)察的多種觀(guān)察方法。切換物鏡時(shí)亮度光圈連動(dòng)能進(jìn)行自動(dòng)調(diào)節(jié)。這些功能實(shí)現(xiàn)了快速舒適的檢查環(huán)境。
半導(dǎo)體/FPD檢查顯微鏡 MX61
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| 晶圓（明視場(chǎng)觀(guān)察） | 晶圓（暗視場(chǎng)觀(guān)察） |
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| 晶圓（微分干涉觀(guān)察） | 彩色濾色片（透射觀(guān)察） |
半導(dǎo)體／FPD檢查顯微鏡 MX61 規(guī)格 | |||
光學(xué)系統(tǒng) | UIS2光學(xué)系統(tǒng)（無(wú)限遠(yuǎn)校正） | ||
機(jī)身 | 觀(guān)察方法 | 明視場(chǎng)/暗視場(chǎng)/微分干涉/簡(jiǎn)易偏振光/熒光 | |
反射/透射 | 反射/透射 | ||
照明裝置 | 機(jī)身一體型（明視場(chǎng)，暗視場(chǎng)＋1選件） | ||
照明系統(tǒng) | 反射照明 | 100 W鹵素/100 W水銀/75 W氙 | |
透射照明 | 纖維光導(dǎo) | ||
對(duì)焦單元 | 電動(dòng)/手動(dòng) | 手動(dòng) | |
行程 | 32 mm | ||
分辨率/微調(diào)靈敏度 | 微調(diào)旋鈕轉(zhuǎn)動(dòng)1周移動(dòng)0.1 mm | ||
zui大樣本高度 | 30 mm | ||
物鏡轉(zhuǎn)換器 | 電動(dòng)型 | 明視場(chǎng)微分干涉6孔 | |
手動(dòng)式 | - | ||
載物臺(tái) | 行程 | 8×8 英寸右下手柄：210（X）×210（Y）mm（透射照明范圍189×189 mm） | |
觀(guān)察筒 | 廣角視場(chǎng)（視場(chǎng)數(shù)22） | 倒置 | 雙目/三目觀(guān)察筒 |
正像 | 三目觀(guān)察筒 | ||
超寬視場(chǎng)（視場(chǎng)數(shù)26.5） | 倒置 | 三目觀(guān)察筒 | |
正像 | 傾斜三目觀(guān)察筒 | ||
附件單元 | DUV單元/IR單元/電動(dòng)載物臺(tái)/自動(dòng)裝載 | ||
外形尺寸 | 509（W）×843（D）×507（H）mm（標(biāo)準(zhǔn)組合） | ||
重量 | 40 kg（標(biāo)準(zhǔn)組合） | ||