在鍍膜儀內(nèi)部的真空下降到一定程度的時候,如0.5mbar以下的時候,拿氦氣噴在懷疑有漏的地方,或者檢查標(biāo)準(zhǔn)保養(yǎng)時動到的部位.這時需要有人觀察檢漏儀的漏率指示值的變化.當(dāng)漏率上升或漏率值變化劇烈的時候,及時指出漏點所在位置,并做記號。
真空鍍膜儀真空室內(nèi)漏氣都是從室壁上的一些小孔或部件之前的銜接位細(xì)縫中發(fā)生，當(dāng)抽氣體系抽氣后使真空室內(nèi)壓強(qiáng)降低，外部與內(nèi)部的壓強(qiáng)差使氣體從壓強(qiáng)高的外部流向壓強(qiáng)低的真空室內(nèi)，形成真空度降低。在檢漏的過程中，需求留意一些問題，才能把檢漏作業(yè)做好。
1、要查看漏氣究竟的虛漏仍是實漏，因為工件資料加熱后都會在不同程度上發(fā)生氣體，有也許誤以為是從外部流進(jìn)的氣體，這即是虛漏，要掃除這種狀況。
2、測驗好真空室的氣體密封功能，確保氣密功能符合要求。
3、查看漏孔的巨細(xì)，形狀、方位，漏氣的速度，制備出可處理方案并施行。
4、斷定檢查儀器的最小可檢漏率和檢漏靈敏性，以大規(guī)模的檢查出漏氣狀況，防止一些漏孔被疏忽，進(jìn)步檢漏的準(zhǔn)確性。
5、掌握檢漏儀器的反應(yīng)時刻和消除時刻，把時刻掌握好，確保檢漏儀器作業(yè)到位，時刻少了，檢漏作用必定差，時刻長了，浪費(fèi)檢漏氣體和人工電費(fèi)。
6、還要防止漏孔阻塞，有時因為操作失誤，檢漏過程中，一些塵埃或液體等把漏孔阻塞了，以為在該方位沒有漏孔，但當(dāng)這些阻塞物因為內(nèi)外壓強(qiáng)區(qū)別進(jìn)步或別的緣由使漏孔不堵了，漏氣仍是存在的。
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