新的粗糙度標準提供了可追蹤的光學(xué)粗糙度測量
迄今為止，新的粗糙度標準為光學(xué)粗糙度測量提供了驗證。通常，表面的傳統(tǒng)標準只適用于接觸式掃描技術(shù)，而光學(xué)測量很難被追蹤。
Alicona的新粗糙度標準既適用于接觸式也適合于光學(xué)測量系統(tǒng)。該標準顯示了光學(xué)無限變焦技術(shù)和接觸式測量在相同的公差范圍內(nèi)可以取得等價的測量結(jié)果。
對于粗糙度標準對光學(xué)粗糙度測量的驗證，Alicona也提供了一個可校準和驗證的micro contour artefact，來追蹤形態(tài)測量。
無限變焦的光學(xué)技術(shù)適用于實驗室和生產(chǎn)中高分辨率的測量。即使在陡峭的斜面和強反射性能的情況下，垂直分辨率也可以高達10nm。在質(zhì)量保證方面，該技術(shù)被成功地用于形態(tài)和粗糙度測量。無限變焦技術(shù)被包括在新的ISO標準25178中，新的ISO標準25178*次包括光學(xué)處理技術(shù)。
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