研究級全自動橢偏儀儀器介紹：
      UVISEL2是一款*革新的全自動光譜型橢偏儀。繼承并發(fā)展了經典機型UVISEL的高準確性、高靈敏度和高穩(wěn)定性等技術特點的同時，配備革新的可視系統(tǒng)，多達8個尺寸微光斑選項，zui小達35×85μm2，適用于所有薄膜材料研究領域。是目前市場上*的機型。

研究級全自動橢偏儀技術參數(shù)：

·光譜范圍：190-2100 nm

·8種光斑尺寸: zui小35 X 85 um

·探測器：3個獨立探測器，分別優(yōu)化紫外，可見和近紅外

·自動樣品臺尺寸：200mm X 200mm；XYZ方向自動調節(jié); Z軸高度>35mm

·樣品水平度自動調整

·自動量角器：變角范圍35°- 90°，全自動調整，zui小步長0.01°

研究級全自動橢偏儀主要特點：

·*自動化設計，自動對焦、校正

·全新光路、電路設計，測量精度更高，速度更快

·50KHz高頻PEM相調制技術，測量光路中無運動部件

·雙光柵光譜儀系統(tǒng)，雜散光抑制水平高

·8個尺寸微光斑，可視技術

·自動平臺樣品掃描成像