視頻顯微鏡zui早的雛形應該是相機型顯微鏡，將奧林巴斯顯微鏡下得到的圖像通過小孔成像的原理，投影到感光照片上，從而得到圖片。或者直接將照相機與顯微鏡對接，拍攝圖片。隨著CCD攝像機的興起，顯微鏡可以通過其將實時圖像轉移到電視機或者監(jiān)視器上，直接觀察，同時也可以通過相機拍攝。從而叫做視頻顯微鏡，在80年代中期，隨著數(shù)碼產(chǎn)業(yè)以及電腦業(yè)的發(fā)展，視頻顯微鏡的功能也通過它們得到提升，使其向著更簡便更容易操作的方面發(fā)展。到了90年代末，半導體行業(yè)的發(fā)展，晶圓要求，視頻顯微鏡可以帶來更加配合的功能，硬件與軟件的結合，智能化，人性化，使視頻顯微鏡在工業(yè)上有了更大的發(fā)展。