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詳細摘要： 小金井電動波紋管泵（泵控制器）對應(yīng)微細化半導體晶片的下一代電動泵。世界（注）CT泵的構(gòu)造開發(fā)、低發(fā)塵、除泡性好、以簡單的構(gòu)造實現(xiàn)了高精度。