1、潔凈室防火的重要性
a、潔凈室是密閉廠房。一般情況下不設外門、外窗，越是凈化級別高其位置越在核心中間部位的無窗密閉廠房。如果出現(xiàn)火情，不僅財產會受很大損失，更重要的是人員難以疏散會有人員的傷亡。
b、潔凈室是重要的科研和生產場所，生產會使用大量的易燃、易爆的氣體、溶劑和有機物質，同時也還會使用大量的有毒有害物質，一旦發(fā)生火災，后果不堪設想。
c、潔凈室是為高科技服務，不僅僅潔凈室本身的建造費用高（2000~10000元/m²），而且潔凈室內的生產設備的價格更高，有的微電子設備每臺都數(shù)百萬美元。如果發(fā)生火災，財產損失慘重。
集上述一些因素，潔凈室的防火是十分重要的。
2、潔凈室的防火措施
a、建筑結構的材料應用不燃材料制作。潔凈室的裝修材料也應采用不燃材料制作。應嚴格按“潔凈廠房設計規(guī)范”中5.2“防火和疏散”一節(jié)的要求執(zhí)行。
b、生產工藝要盡量不用和少用易燃易爆的原材料。如果必須使用，盡量采取密封措施不散放出來，并且加強通風換氣。工藝生產使用易燃易爆氣體時建議在氣源瓶和使用設備中間加一個“中間分配箱”，使正常情況下是與易燃易爆有毒有害氣源是處于斷開的狀況。
c、采取必要的報警和滅火措施
① 加強早期報警。采用空氣采樣器和感溫探頭系統(tǒng)聯(lián)合進行報警，實現(xiàn)對陰火和明火的早期報警（空氣采樣器對陰火非常敏感，感溫探頭對明火非常敏感）。
② 設置室內外消火栓和潔凈室自動噴淋滅火系統(tǒng)。
潔凈室應有完善的室外消火栓滅火系統(tǒng)。
在潔凈室的室內和上技術夾層、下技術夾層均設置完善的室內消火栓滅火系統(tǒng)和預作用水噴灑滅火系統(tǒng)。在正常情況下預作用噴灑系統(tǒng)管道內是充滿壓縮空氣，當探頭報警后，該系統(tǒng)啟動水泵并排氣充水，當火災發(fā)生后，著火處燒破玻璃泡水自動噴灑出來滅火。
③ 設置疏散排煙系統(tǒng)
按“潔凈廠房設計規(guī)范”GB 50073-2001要求潔凈室的疏散走廊應設排煙或防煙系統(tǒng)保證人員的疏散安全。
利用工藝設備的排風系統(tǒng)和空調凈化系統(tǒng)兼作火災時的排煙系統(tǒng)以利人員疏散目的。
按消防部門或保險單位的要求，必要時還要設計潔凈室的全面排煙系統(tǒng)。
3、在組織上要有一個訓練有素的消防滅火隊伍。這個隊伍產生在作業(yè)工人隊伍之中，有了火情這支隊伍就可執(zhí)行引導人員疏散和有組織的滅火工作。形成臨危不亂，有組織有領導的局面。