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掃描電子顯微鏡與金相顯微鏡“同行但不同路“
閱讀：797 發(fā)布時(shí)間：2019-11-8
掃描電子顯微鏡與金相顯微鏡同屬光學(xué)儀器。很多人都喜歡用金相顯微鏡當(dāng)掃描電子顯微鏡使用，但它們之間還有有很大區(qū)別的，錯(cuò)誤的使用做只會(huì)給設(shè)備帶來(lái)更多的負(fù)擔(dān)加速金相顯微鏡的消耗。
1、首先原理不同：金相顯微鏡是利用幾何光學(xué)成像原理進(jìn)行成像的，而掃描電鏡是利用細(xì)聚焦電子束在樣品表面掃描時(shí)激發(fā)出來(lái)的各種物理信號(hào)來(lái)調(diào)制成像的。用高能量電子束轟擊樣品表面，樣品表面被激發(fā)出各種物理信號(hào)，利用不同的信號(hào)探測(cè)器接受物理信號(hào)，再轉(zhuǎn)換成圖像信息。
2、其次光源不同：金相顯微鏡是采用可見(jiàn)光作為光源來(lái)成像，而掃描電鏡是采用電子束作為光源成像。
3、分辨率不同：金相顯微鏡受到可見(jiàn)光的干涉與衍射作用，分辨率只能局限于0.2-0.5um之間。掃描電鏡由于采用電子束作為光源，其分辨率可達(dá)到1-3nm之間，因此金相顯微鏡的組織觀察屬于微米級(jí)分析，掃描電鏡的組織觀測(cè)屬于納米級(jí)分析，掃描電鏡獲得的樣品信息更豐富。
4、景深不同：一般金相顯微鏡的景深在2-3um之間，因此對(duì)樣品的表面光滑程度具有*的要求，所以制樣過(guò)程相對(duì)比較復(fù)雜。掃描電鏡的景深則是金相顯微鏡的幾百倍，但由于其成像原理所限，要求樣品表面必須導(dǎo)電，因此要對(duì)樣品表面做導(dǎo)電處理。
掃描電子顯微鏡相比金相顯微鏡放大倍數(shù)可調(diào)范圍寬、圖像的分辨率高、景深大，圖象富立體感，獲得樣品信息更豐富，在應(yīng)用上比金相顯微鏡更為深入和廣泛。