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線上電子顯微鏡儀器簡介!

閱讀:1870        發(fā)布時間:2012-6-11

 In-line SEM(線上型電子顯微鏡)-儀器簡介

 
設(shè)備編號:CF-L06
設(shè)備名稱:線上電子顯微鏡(In-line SEM)
放置位置:Class 10
機臺型號:HITACHI S-6280H
 
機臺功能
In-line SEM主要用途為線上產(chǎn)品線寬量測,又稱CD-SEM,其特點為WAFER無須經(jīng)過切片或鍍金屬膜等預處理步驟,即可觀察及量測光阻、絕緣層及金屬層等之圖案,本量測設(shè)備屬于非壞性檢測,量測完成之WAFER可以繼續(xù)進行下一制程步驟,因此稱為線上型電子顯微鏡。
本機臺僅能量測線寬,由于試片無法傾斜,因此無法觀察試片斷面,本機臺主要規(guī)格如下:
1.  加速電壓:0.7~1.3kv
2.  放射電流:3~20mA
3.  電子槍:冷陰極場發(fā)射電子源(CCFE)
4.  解析度:6 nm(GOLD)
5.  放大倍率:100X~150000X
6.  試片尺寸:6"晶圓 (平邊)
7.  影像旋轉(zhuǎn):-50°~95°
8.  真空度:≦1×10-7Pa(電子源)
 
機臺的限制(材料,參數(shù)范圍等)
              特殊注意事項:
1.           試片必須合于規(guī)定的尺寸及材質(zhì),試片底材:Si,試片尺寸:6 inch,具有單一平邊。
2.           試片須完整,不可有缺角或裂紋。
3.           因電子腔內(nèi)為高度真空,故試片不得為揮發(fā)性物質(zhì)、不得為在電子束掃描時具揮發(fā)性之物質(zhì)。
4.           試片若含光阻,必須先做完硬烤(HARD BAKE),才可將試片送入。
5.           試片不得含有磁性物質(zhì)。
 
http://www.xianweijing.org/顯微鏡百科

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