国产精品视频一区二区三区四,亚洲av美洲av综合av,99国内精品久久久久久久,欧美电影一区二区三区电影

| 注冊| 產(chǎn)品展廳| 收藏該商鋪

行業(yè)產(chǎn)品

當(dāng)前位置:
上海光學(xué)儀器一廠>>技術(shù)文章>>線上電子顯微鏡儀器簡介!

線上電子顯微鏡儀器簡介!

閱讀:1879        發(fā)布時間:2012-6-11

 In-line SEM(線上型電子顯微鏡)-儀器簡介

 
設(shè)備編號:CF-L06
設(shè)備名稱:線上電子顯微鏡(In-line SEM)
放置位置:Class 10
機(jī)臺型號:HITACHI S-6280H
 
機(jī)臺功能
In-line SEM主要用途為線上產(chǎn)品線寬量測,又稱CD-SEM,其特點為WAFER無須經(jīng)過切片或鍍金屬膜等預(yù)處理步驟,即可觀察及量測光阻、絕緣層及金屬層等之圖案,本量測設(shè)備屬于非壞性檢測,量測完成之WAFER可以繼續(xù)進(jìn)行下一制程步驟,因此稱為線上型電子顯微鏡。
本機(jī)臺僅能量測線寬,由于試片無法傾斜,因此無法觀察試片斷面,本機(jī)臺主要規(guī)格如下:
1.  加速電壓:0.7~1.3kv
2.  放射電流:3~20mA
3.  電子槍:冷陰極場發(fā)射電子源(CCFE)
4.  解析度:6 nm(GOLD)
5.  放大倍率:100X~150000X
6.  試片尺寸:6"晶圓 (平邊)
7.  影像旋轉(zhuǎn):-50°~95°
8.  真空度:≦1×10-7Pa(電子源)
 
機(jī)臺的限制(材料,參數(shù)范圍等)
              特殊注意事項:
1.           試片必須合于規(guī)定的尺寸及材質(zhì),試片底材:Si,試片尺寸:6 inch,具有單一平邊。
2.           試片須完整,不可有缺角或裂紋。
3.           因電子腔內(nèi)為高度真空,故試片不得為揮發(fā)性物質(zhì)、不得為在電子束掃描時具揮發(fā)性之物質(zhì)。
4.           試片若含光阻,必須先做完硬烤(HARD BAKE),才可將試片送入。
5.           試片不得含有磁性物質(zhì)。
 
http://www.xianweijing.org/顯微鏡百科

收藏該商鋪

登錄 后再收藏

提示

您的留言已提交成功!我們將在第一時間回復(fù)您~
二維碼 意見反饋
在線留言
防城港市| 许昌市| 厦门市| 张家川| 繁昌县| 二连浩特市| 梧州市| 高密市| 容城县| 随州市| 正镶白旗| 桑植县| 乾安县| 云梦县| 临海市| 新邵县| 潮州市| 天峻县| 故城县| 西城区| 平顺县| 石家庄市| 丰台区| 图木舒克市| 普陀区| 平泉县| 乌苏市| 南充市| 永嘉县| 盖州市| 横山县| 凤庆县| 泗洪县| 西藏| 嘉鱼县| 依安县| 花莲县| 平邑县| 麟游县| 青岛市| 土默特左旗|