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介紹研磨法制作TEM電子顯微鏡試片的方法-切試片
閱讀：2205 發(fā)布時(shí)間：2013-2-28
TEM試片制作（在此介紹研磨法）
（一）切試片：
（1） 由試片背面切?？蛇x擇試片大小為：2×4 mm2、或3×4 mm2
（2） 依序用丙酮（5min）、異丙醇（3min）、去離子水（1min）清洗試片。
（3） 配G1膠
（二）黏試片：
（1） 試片為”正面對(duì)正面”對(duì)黏。
（2） 用有黏上毛的牙籤棒輕輕挑起一點(diǎn)G1膠后，在試片正面均勻的 輕點(diǎn)2點(diǎn)，再拿另一試片以正面對(duì)正面的方式黏上。
（3） 將黏好的試片放在載玻片上，并用長(zhǎng)尾夾小心、慢慢將試片與玻片夾緊，如圖10。因?yàn)榘讯噔臛1膠擠出，在TEM的觀察中，G1膠的厚度不能大于1μm，否則會(huì)汙染腔體。
（4） 將試片連同載玻片一起放入烤箱中，以120°C烤20分鐘。（可點(diǎn)一小滴G1膠在載玻片上，當(dāng)G1膠由淡黃色轉(zhuǎn)為紅褐色即可停止加熱）
（5） 磨小玻璃片：將載玻片切成4×6 mm2、5×6 mm2大小，再用180號(hào)的砂紙將玻璃由矩形磨成橢圓形。
（6） 將試片一端用180號(hào)砂紙磨平，研磨臺(tái)轉(zhuǎn)速120。
（7） 加熱載具：將烤盤(pán)溫度調(diào)到150°C，并將載具放在烤盤(pán)上
（8） 用熱熔膠將小玻璃片黏在載具上，并將試片平較平整的面與玻璃相黏。黏好后連同載具冷卻放置。
（三）磨試片： 利用研磨機(jī)把試片*面磨平、第二面磨薄
A.磨*面：
（1） 試片沿轉(zhuǎn)盤(pán)切線(xiàn)方向磨，由240號(hào)砂紙開(kāi)始磨，此時(shí)轉(zhuǎn)速需調(diào)成120 rpm。
將試片以與旋轉(zhuǎn)成切線(xiàn)方向磨，以磨一圈試片轉(zhuǎn)180度的方式，共磨5圈再換280號(hào)砂紙
（3） 拋光：
經(jīng)由以上的物理拋光過(guò)程，并無(wú)法修飾表面粗糙度為0.5μm以下的粗糙面，必需藉由化學(xué)拋光來(lái)修飾，
使用NalCo 2350拋光液（0.06μm）于拋光布上拋光，拋光之后立即以水沖洗乾淨(jìng)，避免拋光液凝固于表面
（a） 使用長(zhǎng)毛的拋光布來(lái)拋光。
（b） 轉(zhuǎn)40圈到顯微鏡底下看一次。
（c） 需要一直用水清洗試片，避免拋光液凝固。
B.磨第二面：
（1） 烤盤(pán)以150°C加熱，并將載具連同試片放在上面加熱。
（2） 等熱熔膠熔化后，將試片拿起來(lái)，翻轉(zhuǎn)180度
（3） 將試片光滑面黏在另一片已經(jīng)準(zhǔn)備好的小玻璃片上。靜置待涼。
（4）與*面相同依序砂紙?zhí)枖?shù)開(kāi)始磨。
（5）磨制砂紙400號(hào)時(shí)試片已經(jīng)跟一張紙一樣薄了（約100μm）
（6）磨到試片兩端會(huì)出現(xiàn)圓頭時(shí)，需要換成#1500的砂紙來(lái)磨，至紅光出現(xiàn)。
（7）接下來(lái)要磨到試片兩端在光學(xué)顯微鏡底下能看到黃光出現(xiàn)。
（8） 上銅環(huán)
（a） 用AB膠調(diào)配。
（b） 用牙籤上的毛沾上調(diào)配好的膠后，輕挑一小滴在試片要黏位置上。
（c） 用攝子將銅環(huán)位置調(diào)整好后，黏好后等20分鐘。
（d） 將銅環(huán)及玻璃取下
參考資料:http://www.sgaaa.com/
顯微鏡 ， 金相顯微鏡 ，工業(yè)投影儀 常識(shí)
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