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型號：ZMF-1700C-H2 -
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型號：BTF-1200C-HV -
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型號：BTF-1200C-II-SL-210 -
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大三溫區(qū)滑軌CVD系統(tǒng)（低真空、高真空環(huán)
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雙溫區(qū)磁力拉桿設備（固態(tài)源、氣態(tài)源、多源
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型號：BTF-1200C-II-SSL-CVD -
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型號：BTF-1200C-III-S-SL-3ZL -
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1200℃雙溫區(qū)CVD系統(tǒng)（低真空、高真
型號：BTF-1200C-II-CVD -
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型號：BTF-1500C-3ZL -
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型號：BTF-1200C-S-CVD -
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型號：BTF-1200C-SL-CVD -
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型號：BTF-1200C-SSL-PECVD -
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型號：BTF-1200C-VI -
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型號：BTF-1200C-R