加熱區(qū)參數(shù)

額定功率：5kw

最高溫度：1200℃

工作溫度：1100℃

最大升降溫速率：≤30℃/min

爐管尺寸：高純度石英管Φ25Φ50Φ60Φ80Φ100X1650mm  (管徑可選)

加熱區(qū)長(zhǎng)度：200+200mm

恒溫區(qū)長(zhǎng)度：290mm

控溫方式：模糊PID控制和自整定調(diào)節(jié)，智能化30段可編程控制，具有超溫和斷偶報(bào)警功能。

標(biāo)準(zhǔn)配件：石英管1支，莫來(lái)石管堵2對(duì)，不銹鋼法蘭1套，硅膠密封圈2套，高溫手套1副，坩堝鉤1支；

尺寸：約 550×380×600 mm（爐子）

約：1700×380×620 mm（爐子+滑軌）

可選配單溫區(qū)、雙溫區(qū)、三溫區(qū)等加熱區(qū)。

氣路系統(tǒng)參數(shù)

質(zhì)量流量計(jì)參考量程（N₂)：100sccm、200sccm、500sccm （量程可選）

準(zhǔn)確度：±1.5%

線性：±0.5～1.5%

重復(fù)精度：±0.2%

響應(yīng)時(shí)間：≤10 sec

工作壓差范圍：0.1～0.5 MPa

最大壓力：3MPa

接口：Φ6,1/4''

顯示：4位數(shù)字顯示

工作環(huán)境溫度：5~45高純氣體

內(nèi)外雙拋不銹鋼管：Φ6

壓力真空表：－0.1～0.15 MPa，0.01 MPa/格

截止閥：Φ6

連接頭類型：雙卡套不銹鋼接頭

可選配一路、兩路、三路、四路等以上質(zhì)量流量計(jì)

低真空系統(tǒng)參數(shù)

抽速：10m³/h

極限真空度：5*10^-1pa

電源：220V 50HZ

電機(jī)功率：0.4kw

進(jìn)排氣連接口：KF25

用油量：1.1L

電機(jī)轉(zhuǎn)速：1440rpm

工作環(huán)境溫度：5-40℃

噪音：≤56db

電阻真空計(jì)參數(shù)：

1.配用規(guī)管：電阻規(guī)

2.測(cè)量范圍： 10⁵ ～10^-1Pa

3.測(cè)量路數(shù)： 1路

4.控制范圍： 5×10³～5×10^-1Pa，

5.控制方式：繼電器觸點(diǎn)輸出，負(fù)載能力 AC220V/3A (或DC28V/3A)無(wú)感負(fù)載，

6.電源： 90-260V/50Hz或220V ± 10% 50Hz，

7.功耗： 20W

使用注意事項(xiàng)