GM-6工業(yè)測(cè)量顯微鏡
GM-6工業(yè)測(cè)量顯微鏡
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GM-6工業(yè)測(cè)量顯微鏡

測(cè)量顯微鏡廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體,電子工業(yè)進(jìn)行晶體，集成電路的檢驗(yàn)和精確測(cè)量。配備有冷光源光纖反射照明，成像和觀察系統(tǒng)，偏光裝置。

● 無(wú)限遠(yuǎn)光學(xué)系統(tǒng),管鏡焦距200mm

● 鉸鏈?zhǔn)饺跨R筒,30°傾斜，瞳距55-75mm

● 高眼點(diǎn)、視場(chǎng)目鏡WF10X/22

● 五孔物鏡轉(zhuǎn)換器

● 長(zhǎng)工作距離平場(chǎng)復(fù)消色差物鏡

Plan Apo 2X/0.055  W.D. 34.6mm 分辨率5μm,

Plan Apo 5X/0.14   W.D. 45mm 分辨率2μm,

Plan Apo 10X/0.28   W.D. 34mm 分辨率1μm,

Plan Apo 20X/0.29  W.D. 30.8mm 分辨率1μm

Plan Apo 50X/0.42  W.D. 20.5mm 分辨率0.7μm

● 調(diào)焦系統(tǒng)同軸粗微調(diào)焦機(jī)構(gòu),微動(dòng)格值0.002mm

● 載物臺(tái)  6″x8″雙層活動(dòng)平臺(tái),移動(dòng)行程153x204mm

● 三維測(cè)量系統(tǒng)  

分辨率： 1μm

測(cè)量精度:  ±（2+L/200）μm

重復(fù)定位精度:  2μm

照明系統(tǒng)  

● 冷光源光纖反射照明器：12V150W，特別明亮清晰

● 選配：

完善和全面的測(cè)量軟件

--------完整的幾何量測(cè)（如:點(diǎn),線,圓,弧,角度等）

--------坐標(biāo)系的設(shè)定，擺正,旋轉(zhuǎn)

--------顯示方式多樣化；語(yǔ)言的轉(zhuǎn)換，公英制單位的轉(zhuǎn)換,角度的轉(zhuǎn)換