布魯克Dimension Edge PSS原子力顯微鏡

的PSS計量功能

帶有AutoMET的Dimension Edge PSS提供了納米分辨率，可用于分析PSS基板的每個關鍵參數(shù)，同時自動收集整個晶片和晶片之間的信息。

布魯克的PSS分析包可以同時提供以下數(shù)據(jù)：

• 高度，寬度和間距
• 側壁角度和特征輪廓
• 新：不對稱識別和測量
• 新：污染識別
• 新：轉彎識別和轉彎角度
• 新：平頂識別

AutoMET軟件分析具有新的測量功能

我們在AutoMET軟件中添加了新的測量功能，以增強PSS結構的分析。

Dimension Edge PSS具有亞微米間距分辨率，可滿足LED制造路線圖的需求。其小于0.2nm的本底噪聲可提供裸露的基板和Epi粗糙度測量，并且可容納2至6英寸的晶片，從而提供了樣品靈活性。

帶有9個晶片卡盤的Dimension Edge PSS AutoMET軟件和系統(tǒng)。

布魯克Dimension Edge PSS原子力顯微鏡

PSS的3D計量和過程控制

具有AFM 3D分辨率的AutoMET自動化計量和生產功能

具有AutoMET™計量軟件的布魯克Dimension Edge™PSS原子力顯微鏡是LED基板和外延制造商的理想納米計量和納米檢查系統(tǒng)。作為Dimension Edge AFM平臺的擴展，Edge PSS融合了Dimension AFM系統(tǒng)所享有的令人難以置信的價值和分辨率，同時還提供了產品

平頂圖案藍寶石襯底的3D AFM圖像。

基于基體測量的解決方案。該系統(tǒng)集成了布魯克專有的AutoMET控制和分析軟件，該軟件專門為滿足圖案化藍寶石襯底（PSS）供應商的需求而設計，可提供價值不菲的原子力顯微鏡*的自動化水平和易用性。