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當前位置:北京中慧天誠科技有限公司>>技術文章>>少子壽命測定儀
本儀器配置數(shù)字存儲示波器,軟件依照壽命測量基本原理編寫,采用了標準(MF28 及MF1535)中推薦的幾種讀數(shù)方法。
數(shù)字示波器具有存儲功能,應用平均采樣方式,平均次數(shù)可選4、16、32、64、128、256 次,隨平均次數(shù)的增加隨機噪聲被減小,波形穩(wěn)定、清晰。
微波光電導載流子復合壽命測試儀是參照半導體設備和材料組織SEMI 標準MF1535-0707 及標準GB/T 26068-2010設計制造。本設備采用微波反射接觸光電導衰退測量方法,適用于厚度為1mm 以下的硅片、電池片少數(shù)載流子壽命的測量,提供接觸、損傷、數(shù)字顯示的快速測量。壽命測量可靈敏地反映半導體重金屬污染及缺陷存在的情況,是半導體的重要檢測項目。
指標:
壽命測量范圍:0.25μs~10ms;
電阻率下限:≥0.5Ω·cm,尚未發(fā)現(xiàn)電阻率測量上限。
型號:N 型或P 型單晶或鑄造多晶。
紅外光源波長:0.904~0.905μm;
外形尺寸:365×415×160mm
產(chǎn)品重量:13Kg
工作電源:~220V 50Hz
功耗范圍:≤40W
基本配置:
100B壽命儀主機1臺
數(shù)字示波器1臺
信號線1條
校核片1片
156*156開方硅錠測試臺1套
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