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| 多功能真空實(shí)驗(yàn)儀型號(hào)：YQDH2010 | 貨號(hào)：ZH5503 |
| 產(chǎn)品簡(jiǎn)介 實(shí)驗(yàn)儀是一個(gè)真空實(shí)驗(yàn)平臺(tái)，能夠很直觀反映真空獲得的過(guò)程。由真空獲得部分、真空鍍膜和電控及儀表等部分組成，結(jié)構(gòu)合理，運(yùn)行，適合于對(duì)學(xué)生開(kāi)展真空實(shí)驗(yàn)教學(xué)。 1、真空的獲得與測(cè)量； 2、蒸發(fā)法薄膜制備； 主要特點(diǎn)： 1 設(shè)備的真空反應(yīng)室、油擴(kuò)散泵、真空管路部件透明； 2 電氣控制有防護(hù)，防止誤操作對(duì)操作人員和設(shè)備造成的損傷； 3 管路采用不銹鋼、真空橡膠管結(jié)合，閥門(mén)為電控雙向截止閥，真空室內(nèi)有烘烤除氣設(shè)備； 4 一機(jī)多用的功能，針對(duì)高校開(kāi)展綜合性、設(shè)計(jì)性和開(kāi)放性實(shí)驗(yàn)的要求，預(yù)留有大空間的真空室，在配置一些組件后，就能方便開(kāi)設(shè)其他擴(kuò)展實(shí)驗(yàn)項(xiàng)目。 主要參數(shù)： 1、φ230mm×255mm硬質(zhì)玻璃真空室； 2、采用機(jī)械泵、四玻璃質(zhì)油擴(kuò)散泵兩真空系統(tǒng)，擴(kuò)散泵油量125～140ml，帶水冷； 3、真空度：開(kāi)機(jī)60分鐘后可達(dá)6×10-3Pa，限真空度：9.6×10-4Pa；恢復(fù)真空時(shí)間＜40分鐘； 4、采用一對(duì)氧銅電蒸發(fā)電，電間距70mm，可選用鎢絲或鉬舟作蒸發(fā)源，蒸發(fā)電流調(diào)節(jié)范圍：0~150A； 5、襯底可加熱。襯底加熱溫度范圍：室溫~200℃； 6、工作電壓：AC220V±5%，50Hz，整機(jī)功率3.5KW； 7、工作環(huán)境要求：溫度低于30℃，濕度≤70%；冷卻水溫度22℃±3℃，水循環(huán)用戶自備。 |  |
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