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北京中慧天誠科技有限公司

多功能微波等離子體實驗裝置型號:YQDH2004

時間:2014-3-20閱讀:369
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多功能微波等離子體實驗裝置型號:YQDH2004貨號:ZH5501
產(chǎn)
  自然界中物質(zhì)的形態(tài)除了固、液、氣三種形態(tài)之外,還存在第四態(tài),即等離子體狀態(tài)。等離子體的產(chǎn)生過程為:固體物質(zhì)在受熱的情況下熔化成液體,液體進一步受熱后變成氣體,氣體進一步受熱后,中性的原子和分子電離成離子和電子,形成等離子體。由于等離子體中含有大量具有高能量的活性基團,這使得等離子體能夠參與或發(fā)生許多不同的化學(xué)或物理反應(yīng)。
  本裝置是我公司和武漢工程大學(xué)等離子體化學(xué)與新材料重點實驗室聯(lián)合研制。由微波源、真空系統(tǒng)、供氣系統(tǒng)、冷卻水系統(tǒng)、微波傳輸及微波諧振腔組成;由微波源產(chǎn)生的頻率為2.45GHz的微波,沿矩形波導(dǎo)管傳輸,經(jīng)過調(diào)整短路活塞,zui后在水冷諧振腔反應(yīng)室內(nèi)激勵氣體形成軸對稱的等離子體球。
  可開設(shè)的實驗: 在基材(如硅片)上完成微波等離子體化學(xué)氣相沉積法制備種功能薄膜材料(如BN薄膜、金剛石薄膜、氮化碳薄膜等)、微波等離子體刻蝕加工實驗、材料表面改性、微波等離子體清洗材料表面、微波等離子體化學(xué)合成等實驗;適合大學(xué)物理、材料、化學(xué)等領(lǐng)域的學(xué)生實驗及教師。培養(yǎng)學(xué)生掌握等離子體的應(yīng)用。
本裝置需另配光學(xué)顯微鏡、超聲波清洗機、氣源。隨機配備基材、金剛石微粉。
主要特點:
1 內(nèi)部電,可避免放電污染,運行氣壓范圍寬,能量轉(zhuǎn)換效率高,可產(chǎn)生大范圍的高密度等離子體。
2 設(shè)有垂直交叉的兩個方向的透明觀察窗,可直觀觀察等離子體的放電特性。
3 微波等離子體刻蝕精度達到亞微米。制備種功能薄膜材料的速率較快。
主要參數(shù)及性能:
1、微波源:功率0~800W連續(xù)可調(diào)輸出;
2、真空系統(tǒng):采用旋片真空泵,單相220V交流電源,限真空6×10-1帕,抽速2升/秒;真空計采用數(shù)顯壓阻式真空計和熱偶真空計聯(lián)合作用,用于測量本底真空和工作時的工作氣壓。真空密封采用金屬和橡膠密封;真空調(diào)節(jié)采用隔膜閥粗調(diào)和微調(diào)閥精細調(diào)節(jié),調(diào)節(jié)快速方便、穩(wěn)定性好。
3、供氣系統(tǒng):有兩路立供氣氣路,通過轉(zhuǎn)子流量計控制流量。
4、自帶冷卻水循環(huán)系統(tǒng)形成冷卻水。制冷系統(tǒng)可冷卻水溫度在30度以下,水源要求。
5、微波傳輸及微波諧振腔:配有環(huán)行器、水負載和三螺釘阻抗調(diào)配器,可微波源的工作;配有微波反射測量系統(tǒng),等離子體zui大限度地吸收微波能。反應(yīng)室工作壓強:幾帕~十千帕;反應(yīng)室限壓強:6×10-1帕;真空反應(yīng)室石英管腔體尺寸:Φ50mm;基片溫度范圍:200~1000℃;電磁波功率:0~800W;接地線<3Ω。

 

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